中古 TRION MP 600M HS #293668413 を販売中
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TRION MP 600M HSは、さまざまな精密加工作業に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。多数の機能を備えており、幅広い操作に最適です。このエッチャー/アッシャーは、制御された熱性能、信頼性の高い真空機器の完全性、およびプロセス開発をサポートするために特別に設計された直感的なアーキテクチャを提供する、実績のある信頼性と管理性の高いチャンバーアーキテクチャで構築されています。このユニットはまた、最も要求の厳しいプロセスに最適化されたカスタマイズ可能な陰極設計を備えています。その電源は高度なデジタルパルス制御を備えており、多くの競合モデルとは異なり、高出力および高周波動作を提供します。さらに、このユニットは、システムを常に監視する自己診断機能を備えています。これらの自己診断機能により、トラブルシューティングが容易になり、潜在的な問題とその原因を特定できます。このマシンは非常に堅牢で、冗長データ収集、自動化された安全インターロック、および書き込み手順が進行中にすべてのオペレータが安全に保たれるようにする統合された安全監視機械を提供する完全な安全ユニットが付属しています。このユニットは完全に自動化されたプロセス制御ツールを備えており、初期設定から操作の終了まで、エッチングプロセスを究極的に制御できます。プロセス制御により、温度と圧力の両方を含むエッチャー/アッシャーチャンバー環境を正確に制御できます。また、エッチャーの速度、圧力、露出時間を調整するための多数のオプションをユーザーに提供します。さらに、高度なフィードバックアセットは、各ウェーハの動作が常に正確であることを保証します。高スループット処理のために、MP 600M HSは適切なサンプル配置を保証するさまざまな実装オプションを提供します。このユニットは、最大4つの異なるエッチャー/アッシャーチャンバーをより大きなプロセスに統合する機能も提供します。TRION MP 600M HSは、優れた互換性を提供し、エッチングガスや材料の広い範囲で動作することができます。このユニットは、5X 200mmウェーハまたは最大10基板6インチ以下を容易にするように設計されています。このエッチャー/アッシャーは、信頼性の高い正確なエッチング/アッシングソリューションをお探しの方には費用対効果の高い選択肢です。これは、簡素化された信頼性の高いチャンバーアーキテクチャ、高度なプロセス制御モデル、および自動化された安全性の恩恵を受けます。MP 600M HSは生産または研究の適用のための完全な選択です。
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