中古 TES / TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT #293595225 を販売中
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ID: 293595225
ヴィンテージ: 2012
Dry etcher
(4) Load ports
BROOKS AUTOMATION Robot
2012 vintage.
TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FTエッチャー/アッシャーは、半導体業界で使用される精密ウェーハ加工装置です。これは、高度な生産アプリケーションの要求を満たすように特別に設計された正確で反復可能なエッチングとプロセス制御を提供します。TES CUMAX-FTは、信頼性の高い再現性で優れたエッチングとプロセス制御を提供します。スループットの向上と所有コストの削減により、高品質のエッチング結果を提供できます。科学技術エンジンCUMAX-FTは、最大4インチのサイズのウェーハを処理でき、優れたプロセス制御のために0-20 μ mの調整可能なエッチングギャップを備えています。その改良された設計は、一貫したエッチング結果を提供し、欠陥を低減するために、複数のエッチング角度を含みます。また、ドライエッチング、シリコンエッチング、誘電性エッチングプロセスなど、さまざまなエッチングプロセスに対応できます。CUMAX-FTのエッチングチャンバーは、低容量かつ高真空の閉じ込めにより均一なエッチング率を確保しています。その自動チャンバークリーニング機能は、必要なメンテナンスサイクルを削減し、プロセスの再現性と全体的な効率を向上させます。また、プロセスパラメータを正確に制御するために、複数の圧力および温度センサを装備しています。TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FTにはユーザーフレンドリーな制御システムが搭載されており、簡単なセットアップと操作が可能です。生産結果を改善するための高度なプロセス制御アルゴリズムを持ち、生産への迅速な移行のためのプロセスレシピの実装に精通しています。さらに、リモートPC制御およびオフラインデータログ機能用の通信インターフェイスポートを備えています。TES CUMAX-FTは、高精度のアプリケーションに最適な信頼性の高いエッチングエンジンです。その高度な機能と信頼性の高い再現性により、本番環境に最適です。さらに、その使いやすさは、あらゆる研究開発や生産セットアップへの統合に適しています。
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