中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620669 を販売中
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ID: 293620669
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Furnace, 12"
(2) Load ports
(7) Boxes
Chamber
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、超微細な回路パターンやフォトマスキング用途向けに設計された高精度エッチング装置です。TELフォーミュラは、特殊な基板や材料を最大限の精度でエッチング処理を行うことができます。このマシンは、革新的な自動ウェーハ配信装置を備えており、大量の注文をタイムリーかつ効率的に処理することができます。機械で採用されている高精度エッチング処理は、基板をチャンバーに積み込み、密閉して周囲の空気をパージすることから始まります。次に、ヒーターと低圧電子がチャンバーを避難させ、最適な処理雰囲気を確立します。この後、エッチングマシンは、高度なパルスレーザー蒸着（PLD）およびイオンビームエッチング（IBE）技術を使用して、多層金属および誘電膜の範囲を作成します。東京エレクトロンフォーミュラの精度は、原子吸収システムとソースターゲット絶縁システムを内蔵しています。これらのシステムは、エッチングパラメータの許容差と変動を低減し、微細な線形と微細なドットピッチの作成を可能にします。これにより、ウェーハの変形またはエッチングエラーのリスクをさらに最小限に抑えます。さらに、フォーミュラには組み込み制御システムが装備されており、技術者は各プロセスをカスタマイズすることができます。この機械はまた、堅牢な自動粒子濾過および回収ユニットを誇り、フィルムに組み込まれるほこりや破片の可能性を低減するのに役立ちます。独自の自動化されたパッシベーションマシンにより、各層の構造を徹底的に監視し、損傷を防ぐために調整することができます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラエッチングマシンは、さまざまなフォトマスキングおよびナノ加工用途において、優れた精度と精度のエンジニアリングを提供します。その自動ウェーハ配信や制御システムを含む高度な機能の範囲は、最も敏感で複雑な基板を効率的かつ最高水準に処理できることを保証します。
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