中古 TEL / TOKYO ELECTRON 308 SCCM #9128511 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 308 SCCM（以下、308）は、最先端のエッチング/アッシャーです。メインフレームには、選択可能な可変オートフォーカスレーザースキャン装置（VAS）が装備されています。このシステムは、通常のレーザーとリズミカルに振動するレーザーの両方でエッチングまたはアッシュする領域をスキャンし、均一な深さと均一なカバレッジを確保します。さらに、308は、安全性とクリーンな作業環境を確保する高温排気フードを使用しています。308はまさにオールインワンユニットで、マルチガスフィードと統合された温度制御ユニットを内蔵しています。308は使いやすく、わずか数分で設定でき、読みやすい多言語ユーザーマニュアルも含まれています。308は、3nmから1。5 μ mまでの深さで、金属と非金属の両方のエッチング/アッシングを可能にします。308は、複雑な3Dパターンと高いアスペクト比の構造を作成することができるということです。結果は信じられないほど正確で均一なプロセスであり、時間の後に時間がかかります。308はまた、自動粉末フィーダー、デジタル光学モニタリングパッケージ、アライメントおよびフォーカススコアリングマシン、および自動サンプル検索ツールなど、さまざまなアクセサリを備えています。これにより、制御の強化とスループット制御の高度化が可能になります。さらに、エッチング工程の温度を制御するためのRF誘導加熱アセットも用意されており、除去された材料の量が同じままです。全体的に、TEL 308 SCCMは高度なエッチング/アッシング・モデルで、手の届きにくい部分の複雑なエッチングのための精度、安全性、優れた制御レベルを提供します。高出力、高温排気フード、可変オートフォーカス装置、その他の多くの機能により、308は非常に汎用性の高いユーザーフレンドリーなシステムで、非常に正確で正確なエッチング体験を提供します。