中古 TEGAL 903E #9250125 を販売中

TEGAL 903Eは、高度なMEMS部品の製造用に特別に設計されたエッチングおよびアッシング装置です。負荷/アンロードステーション、エッチングチャンバー、複数のウェハカセットなどのコンポーネントを搭載した自動エッチングおよびアッシングシステムで、それぞれ温度制御およびモニタリングユニットを備えています。このユニットは、幅広い基板サイズに対応するように設計されており、スタンドアロンとマルチカセットの両方の操作に対応しています。ウェットリンスとドライエッチング、アッシングの両方が可能で、精度は0。5ミクロンまでです。プロセスの自動化により、最大4ミクロンの再現性で、より高いスループットを実現します。機械は手動処理の最低限の信頼できる結果を作り出すように設計されています。高度な温度制御および監視ツールにより、エッチングプロセスに最適な温度設定が保証されます。また、低サイズのジッタにより、エッチングおよびアッシング工程での汚染率が低くなります。また、基板全体に均一なエッチング深度を提供します。このアセットには、低すぎるまたは高温の場合の自動アラーム、さまざまなプロセスで調整できるいくつかの真空設定などの安全機能も含まれています。同様に、それはすばやく安全な処理を可能にすることが容易に利用可能な抗氷機能を持っています。TEGAL 903 Eは幅広い用途に対応しています。マイクロ電子部品、MEMSモジュール、電子およびナノ電子部品の製造に使用できます。CVD、エッチング、ドライエッチング、ドライアッシングなど、さまざまなエッチングプロセスのプロトコルを提供しています。その機能と用途のために、903Eは信頼性が高く、汎用性の高いエッチングとアッシングモデルです。精度、高スループット、オートメーション能力により、幅広い産業および研究用途に適しています。