中古 TEGAL 901 #9292154 を販売中
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TEGAL 901は、さまざまな材料から高品質で高解像度の物理構造を製造するために設計されたエッチャー/アッシャー装置です。901は、高度なプラズマベースのエッチング技術を活用して、高い精度と再現性を備え、最小限の時間と作業でほぼ完璧な結果を提供することができます。TEGAL 901は、酸素、アルゴン、およびその他のガスの適切な比率を使用して、最高のエッチングと灰レートを作成することを保証するために、クローズドループのガス制御システムを使用しています。このレベルのガス使用量は密接に監視され、自動的に調整され、プロセスのパラメータがジョブの寿命を通じて同じままです。これにより、結果の品質を犠牲にすることなく、より迅速なエッチングと灰の時間を可能にします。901はまた、材料に精密で複雑なパターンのエッチングを可能にするサブピクセルマスク生成ユニットを持っています。この機能は、メモリチップ、センサー、マイクロエレクトロニクスなどのデバイスの詳細な電気レイアウトを作成するために使用できます。TEGAL 901はレーザーガイドマスクレスエッチング(LGM-E)機能も備えており、マスクなしでエッチングプロセスを正確に調整できます。これは、高密度で複雑なマイクロエレクトロニクス製品の製造などの用途に特に役立ちます。901にはMFS (Mass Finish Machine)オプションも装備されており、配線、添加剤、めっき、接触構造など、エッチング後に追加の材料を処理することができます。これはTEGAL 901の用途にさらなる多様化をもたらします。全体的に901は強力で精密な機械で、さまざまな用途に適した堅牢な機能を誇っています。エッチングと加工の面でのその能力は、それが多数のアプリケーションのための理想的なソリューションになります。
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