中古 TEGAL 901 #9250120 を販売中

TEGAL 901
ID: 9250120
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1985
Nitride etcher, 6" Missing parts 1985 vintage.
TEGAL 901は、半導体生産におけるプロセス制御およびウェーハ製造に主に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。高精度の電子ビームシステムを使用して、基板表面に材料を光化学的に堆積させます。基板は一般的に半導体ウェーハですが、ガラス基板やポリマー基板にもなります。901は正確で反復可能なプロセス制御を提供し、リアルタイムで基質レベルを監視します。ユーザーは、特定の要件を満たすためにプロセス設定をカスタマイズできます。エッチング/尋ねるプロセスは、電子ビームを使用して基板の表面を変化させる化学反応を引き起こすエッチングプロセスの一種です。電子ビームは、設計のための「マスキング」エージェントとして機能し、エッチング処理を識別された設計上で正確に行うことができます。TEGAL 901の電子ビームは基材やプロセス設定に微調整することができ、精密なプロセス制御が可能です。さらに、このエッチャー/アッシャーは、パワー、位置、ビーム長を計算する均一性コントロールを備えています。これにより、エッチング処理が一定の速度で特定の基板レベルで行われるようになります。901はまた、高度な温度制御や熱変化プロファイリングなど、さまざまな高度な機能を備えています。この特徴は熱損傷から表面を保護するのを助け、温度が基質全体にあることを保障します。TEGAL 901は、エッチングプロセスの速度と精度を向上させるように設計されています。強力な電動モーターを使用し、最大25m/sの速度を実現します。この速度は、蒸着時間を最小限に抑え、手動方式に比べて精度と再現性を最大化します。全体として、901は堅牢で信頼性の高いエッチャー/アッシャーで、半導体の製造におけるプロセス制御とウェーハの製造に特化して設計されています。エッチングプロセスの速度と精度を向上させ、プロセス制御を強化する高度な機能を備えています。このエッチャー/アッシャーは、均一性エラーを低減し、熱変化を軽減するように設計されています。TEGAL 901は、さまざまなプロセスに適した汎用性の高いソリューションです。
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