中古 TEGAL 901 #9226736 を販売中

TEGAL 901
ID: 9226736
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1985
Nitride etcher, 6" Missing parts 1985 vintage.
TEGAL 901は、精密な材料加工を可能にする完全にカスタマイズ可能なプラットフォームを備えた高度なエッチャー/アッシャーです。市場で入手可能な最も熱い温度と最高の長期蒸着率で動作する能力により、901は、材料の広い範囲で単一および複数の層アセンブリの両方の効率的な保護と機械的分離を可能にします。この最先端のエッチャー/アッシャーは、デジタルカメラシステムや安全なオフラインコントロールパネルなど、最新の技術を搭載しています。また、さまざまなプロセス最適化オプションが含まれており、時間、温度、圧力、酸素レベルを正確に制御することで、繊細なエッチングとアッシングの品種を可能にします。TEGAL 901は、エッチングおよび圧力制御装置に塩素を含まない特殊なガスを使用して、酸素レベルを必要な範囲に保ちます。また、901は独立したチャンバー加熱システムを備えており、ジャケット加熱高度を追加することなく、さまざまな温度で材料スタックを自動処理できます。また、独自の温度安定システムを採用しているため、材料温度のばらつきが大きいにもかかわらず温度が安定しているため、エッチング効率が向上し、プロセスのばらつきを防ぐことができます。上記に加えて、TEGAL 901に衝撃および貯蔵プロセスの間の衝撃波を制御する機能があります。さらに、480nmレーザービームを組み込んで、エッチングおよびアッシング操作をカスタマイズし、あらゆる材料およびプロセス要件を満たします。さらに、金属、誘電体、その他の材料を高精度に蒸着するための高度な二酸化イオン注入技術を搭載しています。全体として、901は強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャーであり、最高の長期蒸着率と市場で最も高度で正確な材料加工機能を提供しています。これは、ほぼすべてのプロセスおよび材料仕様に合わせて調整する機能を備えた、幅広いエッチングおよびアッシングのニーズに最適なツールです。
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