中古 TEGAL 901 #9113439 を販売中

TEGAL 901
ID: 9113439
Etcher Chiller Vacuum.
TEGAL 901は、株式会社テガルが開発したコンパクトで高性能なエッチャー/アッシャー装置です。このアッシャー/エッチャーは、高い均一性を持つ基板の高分解能パターニングを実現するために使用されます。901は、高精度で再現性の高い結果を必要とする精密なエッチングおよびアッシングプロセスを提供します。エッチングおよびアッシングプロセスの均一性を確保するために、幅広いエッチングおよびアッシングケミストリーを使用しています。独自のプロセス制御アルゴリズムを使用して、正確なプロセス制御を行います。このシステムは、独自の高温燃焼アルゴリズムを使用して、不要な側壁汚染を排除する均一な燃焼を実現します。また、TEGAL 901は高解像度の光学パターニング機能を備えており、エッチングおよびアッシングプロセスの最高精度と精度を保証します。901には、エッチングとアッシングプロセス全体をユーザーフレンドリーで効率的にする高度なコントロールパネルが装備されています。タッチスクリーンインターフェイスを使用して、プロセス中にユニットパラメータを制御、監視、および構成します。このパネルは可視性を高め、プロセス全体を監視および制御しやすくします。さらに、アッシャー/エッチャーには、プロセスの信頼性と高品質の結果を保証するいくつかの組み込みの安全および監視機能が含まれています。TEGAL 901は高性能、安価な操作のために設計されています。高いスループット機能とメンテナンスを最小限に抑え、最大限のリソース使用効率を実現します。このマシンは、優れたウェーハ歩留まり率で、高品質、再現性、鮮明、均一なパターンを生成します。さらに、アルミニウム、ポリシリコン、ドープ状シリコン、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、ガリウムヒ素、SiGe材料など、さまざまなウェーハ構成と基材の互換性を提供しています。901は高温動作を特徴とし、高速エッチングとアッシングを可能にし、歩留まり率を向上させます。また、クールダウンフェーズの必要性を排除するために高度なバーンアウトアルゴリズムを組み込み、エッチャー/アッシャーをより効率的にします。効率的な操作に加えて、TEGAL 901はコンパクトで堅牢な設計で、いくつかの安全機能をサポートしているため、産業用途に最適です。
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