中古 TEGAL 901 #293655088 を販売中
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TEGAL 901は、MEMS製造に使用されるようなエッチング/アッシュ可能な表面に望ましいパターンを生成するように設計された高精度エッチング/アッシュ装置です。このシステムは、ウェーハから基板またはチップレベルのデバイスまでのサイズのサンプルを処理する機能を備えています。901は、サーマルエッチングとプラズマエッチングの技術を組み合わせて、必要なパターンを正確かつクリーンに厳格な基準に加工します。TEGAL 901は、エッチングステップとアッシングステップの2段階のプロセスを備えています。エッチング工程では、加熱ガスを使用してサンプルの表面をエッチングします。熱エッチング処理は、ガス分子の運動と化学反応により表面材料を正確に除去します。エッチングステップが完了すると、ユニットはプラズマアッシャーを使用してサンプル上の残りの材料を完全に除去します。901は温度、圧力およびガスの流動度のような変数を調節し、監視するのに上限のコントロールパネルを利用します。また、特定のエッチパターンをプログラムする機能もあります。これにより、ユーザーはサンプルサーフェス上の画像またはパターンを正確に複製できます。機械は繰り返し可能で、信頼できる結果のために時間をかけて設計されています。品質を確保するために、メーカーは予期しないイベントが発生した場合にツールをシャットダウンするさまざまなフェイルセーフを含んでいます。また、最適なパフォーマンスを得るために最新のソフトウェアパッチで更新する機能も備えています。最後に、資産は過去のエッチングイベントの内部ログとトレーサビリティとドキュメントの結果を維持します。結論として、TEGAL 901 etch/asheモデルは、ウェーハやチップレベルの部品に正確なパターンを作成するための信頼性の高い強力なツールです。洗練された制御、監視、プログラミング機能により、再現性のある結果と信頼性の高いパフォーマンスを実現します。さらに、機器の高度な安全対策は、エッチング製品の品質を保証します。
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