中古 TEGAL 901 #293624765 を販売中
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ID: 293624765
ヴィンテージ: 1984
Etcher
Spare parts
DACSCAN Board
No vacuum pumps / chillers
1984 vintage.
TEGAL 901は、デバイス製造のための有機層の高精度エッチングを必要とするアプリケーション向けに設計された有機エッチャー/アッシャー機です。このマシンはエッチングとアッシングの両方が可能で、高度なコンピューター制御の位置スキャンシステムを使用しています。901は、エッチングチャンバーとアッシャーチャンバーの2種類のチャンバーを使用し、それぞれにさまざまな機能と機能を備えています。エッチングチャンバーは、最新の統合技術を備えた標準的なエッチングセルであり、幅広いデバイス製造ニーズに対応するように設計されています。数百〜数千Torrのガス圧力と0。1〜4。0 SCCMの化学流量で10〜150Vを使用して動作します。このチャンバーは2つの電極とDCまたはRF電源を備えており、均一で一貫したエッチングが可能です。また、プロセスパラメータをリアルタイムで表示できるため、エッチング条件を正確に監視し、プロセスの忠実度を最大化できます。2番目のチャンバーであるアッシャーチャンバーは、ドライエッチング処理用に設計されています。これは、エッチングとアッシングの両方が可能な高度なF1 Chem™反応イオンエッチング(RIE)ガス化学システムを使用しています。その動作は、さまざまな圧力、温度、および電力レベルで動作するように調整可能であり、最大のプロセス柔軟性を可能にします。このチャンバーは大型のF1-Scan処理セルを備えており、x軸とy軸の両方でスキャンエリアを調整でき、フレキシブルなサンプル処理機能を備えています。高速なサンプル処理時間で卓越した精度を得ることができます。TEGAL 901は、有機エッチングおよびアッシング用途に最適です。優れた歩留まり、運用コストの削減、および超高精度エッチング機能を提供するように設計されています。その強力な組み込みソフトウェアは、高速制御とデータ統合を提供し、デバイスの製造に最適です。これは、さまざまな有用な機能と、要求の厳しいエッチングおよびアッシング用途向けの堅牢なパフォーマンスを提供します。
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