中古 TEGAL 411 #9163033 を販売中
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TEGAL 411は、生産ウェーハ処理用に設計されたエッチング/アッシュシステムです。主に集積回路の製造のためのウェーハ加工に使用されます。エッチャーにはシングルチャンバー設計があり、複数のレベルと種類のエッチングおよびアッシング操作を1サイクルで完了させることができます。411は上下のチャンバーを持ち、上下のソースと基板を備えています。チャンバーはステンレスで構成されており、反応イオンエッチングなどの腐食性の高いプロセスに対応するように設計されています。各チャンバーには2つの加熱ゾーンがあり、正確な温度制御が可能です。また、TEGAL 411は低損失移動メカニズムを備えており、加工中の基板の高精度アライメントを保証します。411は、シリコン、化合物半導体材料、ポリシリコンなど、さまざまな半導体材料のエッチングおよびアッシング動作を行うように構成することができます。フォトレジストや酸化エッチング・灰などのハードマスクでの操作が可能です。TEGAL 411は、ハイスループット生産にも対応しており、サイクルタイムは30秒以下です。411の性能は、強力で高度なプラズマ源と電子ビームシステムとイオンビームシステムの組み合わせでさらに向上しています。これにより、汚染の可能性が減り、スループットおよび歩留まり改善技術の適用が可能になります。TEGAL 411は、モーションディテクタや温度カットオフスイッチなどの安全機能を備えています。これらの機能により、エッチャーは信頼性が高く、過熱または材料を損傷したり、プロセスが失敗する可能性のあるその他の問題の可能性が低減されます。411はまた低い電力の消費を特色にし、24/7の本番環境に適しています。要するに、TEGAL 411は生産ウェーハ処理用に設計されたエッチング/アッシュシステムです。高精度なアライメントと低損失の伝達メカニズムにより、さまざまな半導体材料のエッチングおよびアッシング操作が可能です。また、モーション検出や温度遮断などの安全機能を備え、信頼性を高めています。411は、今日のハイスループットアプリケーションに適した強力で信頼性の高いシステムです。
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