中古 SORONA SIE-3102 #9366568 を販売中
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SORONA SIE-3102は、さまざまな基板に精密かつ正確なエッチングとアッシングを提供することができる高度なエッチングおよびアッシング機です。このマシンは、正確な位置決めと最適なエッチング結果を確保するために、水平方向および垂直方向に整列したエッチングテーブルを使用しています。SIE-3102には、クリーンな真空エッチングとアッシング環境を提供するために、破片を除去するドライタイプのクリーニングシステムが内蔵されています。エッチングテーブルは、直径5インチまでの内部エッチング領域を提供することができ、0。005ミル/分から20ミル/分までのエッチング速度を持っています。SORONA SIE-3102には、イオンポンピングを利用した真空チャンバーがあり、汚染や損傷のない大型基板エッチング用に-28 torrの真空レベルに到達します。また、反応性イオンエッチングと同様の同時熱酸化シリコン除去機能を備え、1300°Cまで温度に達することができます。SIE-3102は、eビームとイオンビームエッチングまたはアッシングで高い選択性と高いミラー画像定義を提供するために磁場を採用しています。この機械は0。5umまで深さにエッチングでき、高いアスペクト比の目的の使用のために適しています。また、最大20nm/minの熱酸化物除去速度、および最大10nm/minのウェハバック側の不動態化速度も備えています。エッチング/アッシングは、ユーザーフレンドリーで簡単な多軸制御環境下で実行されます。また、SORONA SIE-3102には画像処理ソフトウェアが内蔵されており、エッチングパラメータを調整して、最も正確な結果を得ることができます。このソフトウェアの助けを借りて、ユーザーは簡単に高い定義と忠実度でエッチングパターンを生成することができます。また、リアルタイムモニタリングシステムにより、エッチング時に必要な調整を行いながらエッチング工程を観察することができます。全体的SIE-3102は、さまざまな基板に精密かつ正確なエッチングを提供できる高度なエッチングおよびアッシング機です。このマシンはユーザーフレンドリーで簡単で、調整可能な真空システム、熱酸化物除去機能、正確な結果を得るための画像処理ソフトウェアも備えています。SORONA SIE-3102は、さまざまなサイズや形状の基板に使用するのに適しており、忠実度の高い高精細画像を作成するために使用することができます。
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