中古 SHIBAURA CDE 80 #293609517 を販売中
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ID: 293609517
ヴィンテージ: 1995
Etcher
SMIF Loader
Controller
CRT
Keyboard
SUS Front panel
Ni coated Al Side panel
Pump interface
Quartz tube protection
ESC Universal chuck
Water auxiliaries, 8"
Gas system:
(5) TYLAN FC-2900 Mass Flow Controllers (MFC)
Gases: CF4, C12, N2, 02, NF3
Does not include dry pump
1995 vintage.
SHIBAURA CDE 80は、リソグラフィ、電着、エッチング、アッシングなど、さまざまな用途でサンプルを処理するために特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。このツールは、従来のエッチングソリューションと比較して優れたサンプル処理とより多くの機能を提供する、最大のエッチングチャンバーの1つを持っています。SHIBAURA CDE-80は、上下にデュアルチャンバーエンクロージャを備えています。上の部屋は基質のローディングおよび荷を下すことのために設計され、最下の部屋はashingおよびエッチングのために使用されます。基板のサイズは、小さな部分から、より大きな、より高品質のサンプルまでさまざまです。部屋の壁は耐久のステンレス鋼から成り、あらゆるタイプの腐食性および研摩の損傷に抵抗できます、最上質の結果を保障します。CDE 80は、高周波マグネトロンRF電源を使用して、エッチング処理の精度と精度を最大限に引き出すことができます。また、温度や圧力などのすべてのエッチングおよびアッシングパラメータを確実に維持し、最適なエッチング結果を得るための独自の熱管理システムも備えています。また、いくつかの利用可能な機能と携帯性も備えています。例えば、コンピュータユニットからエッチング処理を制御することができ、最適な制御精度が得られます。さらに、オプションの温度と圧力読み出し、気密シールや過電流リミッターなどの複数の安全機能を備えています。CDE-80には真空ポンプとメンテナンスフリー設計があり、最大限の信頼性を実現しています。さらに、ユーザーがエッチングパラメータとアッシングパラメータを設計および監視し、プロセスを最適化したままにするためのソフトウェアが付属しています。SHIBAURA CDE 80は汎用性の高いエッチャー/アッシャーで、幅広い用途において信頼性、正確性、精度の高いアウトカムを提供します。この機械がいろいろなサンプルサイズを扱うことができるので、適用範囲が広いエッチングの解決を捜す研究者か製造業の専門家のために特に適しています。
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