中古 SEZ / LAM RESEARCH RST 100 #9161499 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH RST 100 Etcher/Asherは、材料のエッチングとアッシングに使用される半自動アッシャー/エッチャー装置です。それは4インチによって8インチの部屋と設計され、破片、ガラス、銅、およびPCB板を含むいろいろな材料を処理できます。SEZ RST 100は、1回の実行につき最大50個のウェーハを処理でき、スループット時間は1ウェーハあたり5分未満です。LAM RESEARCH RST 100は、高速、低圧、オイルフリー、非汚染エッチングシステムで設計されています。液晶ディスプレイを搭載したパソコン（PC）を搭載し、エッチングとアッシング時間、温度、室圧を制御します。また、エッチャー/アッシャーから次のプロセスにウェーハを転送するための自動リフトも備えており、迅速なウェーハ処理が可能です。RST 100に改善されたプロセス監視および制御のための優秀なプロセスレシピ制御そして検証の特徴があります。このツールは、高度なサーマルプロファイル制御を備えており、チャンバー全体の均一な温度分布と均一なエッチングおよびアッシング結果を可能にします。プロセス温度範囲は25°Cから525°C、圧力は25 Torrまでです。SEZ/LAM RESEARCH RST 100は、信頼性が高く使いやすいユーザーインターフェイスで設計されています。その他の機能には、マルチレベル真空制御、プログラム可能な実行終了通知、および回復可能なシャットダウンモデルがあります。新たに設定されたパラメータでプロセスを再度開始できます。さらに、SEZ RST 100は、内蔵の停電防止、過圧保護システム、過圧および過真空センサーを備えた化学封じ込めユニット、アンモニア検出機などの優れた安全装置を備えています。LAM RESEARCH RST 100は、エッチングおよびアッシングプロセスに最適で、正確な温度と圧力制御、信頼性の高い安全なパスワード保護、優れた安全機能、自動化されたウェーハ転送機能を備えた使いやすいPCベースのツールを提供します。高度なプロセス制御と検証機能を備えたRST 100は、効率的なエッチングとアッシング材料のための効果的で信頼性の高いソリューションです。