中古 SEZ / LAM RESEARCH 323 #293632547 を販売中
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ID: 293632547
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Spin processor, 12"
Controller
Carrier station block, (4) FOUP
Process block
AC Power box
(2) Etchers
CDU
Temperature Control Unit (TCU)
Solvent supply system: (2) Tank auto supply systems with CSS
Direct drain
Heater tank
(4) SLQ-QT500 Flow meters
2004 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 323は、化合物層の高品質の選択的エッチングとアッシングを可能にするエッチングおよびアッシングツールの一種です。このツールは、高精度かつ再現性のある結果を生成し、化学エッチングとプラズマのアッシングによって複雑な層の異なる材料を選択的に除去することができます。SEZ 323はコンパクトで堅牢なデザインで、スペースが限られているアプリケーションに適しています。エッチングおよびアッシング処理は、酸素、アルゴン、六フッ化硫黄、アンモニアなどの様々なガスを使用して完了することができます。これらのガスの制御は、圧力コントローラとフローコントローラ、および高度な真空システムを使用して行われます。このツールを使用すると、温度、圧力、電力などのエッチングとアッシングパラメータの範囲を選択できます。LAM RESEARCH 323は、高精度のエッチングとアッシングプロセスを可能にするように設計されています。デジタルプロセスプログラムは、ユーザーが希望する結果に基づいてエッチングとアッシングのプロセスを設定することができます、一方、コンピュータのタッチスクリーンとグラフィカルユーザーインターフェイスは、操作に直感的なアプローチを提供します。このツールには、プリセットパラメータを超えた場合に自動的にマシンをシャットダウンする内蔵のセーフガードも含まれています。このエッチャー/アッシャーは、4インチの作業エリアも備えており、小規模なプロジェクトに適しています。チャンバーは、信頼性と性能を向上させるために堅牢な鋼で作られています。323はまた電子アセンブリおよび反応部屋を冷却するのに周囲の環境を使用する統合された冷却装置を特色にします。SEZ/LAM RESEARCH 323エッチング/アッシングツールは、材料を選択的に除去するための耐久性と高精度のソリューションを提供します。半導体やセラミックなど、完成品を生産するために高品質な結果が必要な多くの産業に最適です。
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