中古 SEZ / LAM RESEARCH 304 #293622221 を販売中
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SEZ/LAM RESEARCH 304は、バッチ式の精密ウェットエッチングおよびアッシング装置です。幅広い基板、半導体ウェーハ、金属、その他の材料の精密エッチングのための高速、安全、正確なレシピを組み合わせて提供するように設計されています。SEZ 304には、最大4つの大判基板(標準6「および8」基板)と、より広いフォーマット(10「および12」)の最大4つの基板ラックを収容できるトリムラインプラットフォームが装備されています。このプラットフォームは、幅広いプロセスチャンバーのサイズとエッチングレートを備えており、処理時間とエッチングレートの完全な変動を可能にします。LAM RESEARCH 304はまた、エッチングとアッシング速度のためのプログラマブルなレシピの広い範囲を備えており、再現性と信頼性の高いバッチを可能にします。304に作り付けのガス盤があり、プロセス部屋の大気の完全な制御を可能にします。さらに、SEZ/LAM RESEARCH 304は、エッチング/灰チャンバーとプロセスラインの迅速かつ効率的な洗浄を容易にするために、統合されたクリーンインプレイス(CIP)システムを備えています。SEZ 304の制御ユニットは、包括的なプロセスオートメーションソリューションを提供し、さまざまなプロセスパラメータのユーザプログラミングと制御を可能にします。LAM RESEARCH 304の直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、オペレータはエッチング/灰プロセスを素早く簡単にプログラムおよび監視でき、オンザフライのトラブルシューティングと監視が可能です。304はまた安全な操作を保障する2つのレベルの真空の連結器、部屋の圧力を監視する圧力モニター、適切な基質の暖房および冷却を保障する温度モニターおよび適切なエッチング率およびプロセス時間を保障するプロセスモニターを含む安全機能の広い範囲を特色にします。SEZ/LAM RESEARCH 304には、さまざまなユーザー選択可能なアラーム設定があり、オペレータは特定のプロセスニーズに応じてアラーム設定を調整できます。さらに、SEZ 304は、エッチング室に金属元素を導入することを排除し、基板の汚染や損傷のリスクを低減する石英フリーのエッチングプロセスを採用しています。要するに、LAM RESEARCH 304は、信頼性が高く汎用性の高い精密ウェットエッチングおよびアッシングマシンであり、ユーザーに精密エッチングとアッシュレートと包括的なプロセスオートメーションソリューションを提供します。304は、幅広いプロセスチャンバーのサイズとエッチングレート、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、安全な操作とプロセスの整合性を保証する内蔵の安全機能を提供します。堅牢な性能と信頼性を備えたSEZ/LAM RESEARCH 304は、産業研究、生産、教育アプリケーションに適しています。
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