中古 SAMCO RIE-331iPC #293607298 を販売中
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ID: 293607298
ヴィンテージ: 2012
Dry etcher
(2) Pumps
Circulator
Molecular Pump
PC
2012 vintage.
SAMCO RIE-331iPCは、酸化膜、シリコン、金属、ガラスなどの材料の精密エッチングおよびアッシング用に特別に設計されたドライエッチング/アッシング装置です。機械は、低ガス消費量で安全でクリーンなプロセスを提供しながら、正確で反復可能な結果を提供するように設計されています。このシステムは、RF発電機と2つの独立したプラズマ源を使用しており、それぞれに最大200ワットの電力を供給することができ、効率的で経済的なプロセスを作成します。このユニットは、安全弁、安全ガスシャットオフ、自動避難などの機能を備えた包括的な安全機械で、ユーザーの安全を念頭に置いて設計されています。プロセスチャンバーはまた、低圧プロセスを確実にするように設計されており、安全な作業環境を提供します。その他の機能は、現場でのプロセス監視であり、ユーザーはリアルタイムでプロセスパラメータを監視し、プロセス設定を調整して目的の結果を達成することができます。このツールはまた、幅広いガス構成と幅広いプロセス圧力レベルを備えた非常に柔軟性があり、ユーザーはエッチングまたはアッシュされる材料にプロセスを適応させることができます。この機械は、統合された自動ガス混合アセットを備えており、単相および多相エッチングの両方を可能にします。このモデルはまた、高度なプロセス制御を可能にし、ユーザーはエッチング処理を正確にプログラムすることができます。また、真空ウェーハ伝送システムを搭載しており、プロセス実行中にウェーハを安全かつ迅速に交換することができます。さらに、このユニットは、自動エッチング率の補償、情報の自動要求、自動ガスレシピプログラミング、プロセスの自動監視と制御など、さらに汎用性と効率性を高めるいくつかの追加機能を提供しています。RIE-331iPCはまた、高度なユーザーインターフェイスを提供し、ユーザーからの入力を最小限に抑えて、プロセスを簡単かつ直感的に監視および制御することができます。要約すると、SAMCO RIE-331iPCは、ユーザーの安全とプロセスを清潔に保ちながら、正確で繰り返し可能な結果を提供する高度で費用対効果の高いエッチング/アッシングマシンです。そのプロセスパラメータと機能の範囲は、ツールを非常に柔軟かつ効率的にします、その高度なユーザーインターフェイスは、簡単かつ手間のかからないプロセスを制御し、監視します。
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