中古 SAMCO RIE-1C #9357610 を販売中

ID: 9357610
Reactive Ion Etcher (RIE) Vacuum chamber: Quartz: 212 mm diameter Rectangular view port at front panel Hinged lid with front mounted handle Mesh cover Electrodes: Parallel plate design Cathode coupling (RIE) mode Distance: 44 mm (Fixed) Upper electrode: Aluminum Diameter: 140 mm Shower-head gas dispersion system Lower electrode: Type: Cathode (RF electrode) Stainless steel Diameter: 120 mm Water cooled Special tray: Aluminum Diameter: 120 mm Maximum substrate size: 100 mm RF Power source: Solid state power generator Crystal control Power: 13.56 MHz, 200 W (Maximum) RF Power interlock With chamber lid Vacuum pump: Double stage rotary pump Flow rate: 240 l/min With PFPE pump fluid Oil mist filter Solenoid operated nitrogen gas ballast control valve Couplings with metal vacuum hose Vacuum gauge: Capacitance monometer: 0-2 Torr Gas delivery and inlet system: (2) Mechanical flow meter controlled lines: CF4 / O2 Nitrogen purging line Flow range: 0-20 SCCM Timers: Digital for process time: 0-99 Seconds, minutes / Hours Resolution: 0.1s Adjustable purging time: 0-60 Seconds Audio alarm Utilities required: Step-down transformer Cooling water: 2 Liter/min Supply pressure: 15-20°C, 0.1-0.2 MPa Supply and return connection: RC 1/4" and 1/4" O.D Tubing Depth filter: 20 µm Process gas supply: 0.1 MPa (15 psig) Connection: Swagelok fittings, ¼" Filters: 2 µm Safety features: Door interlock Pressure interlock Pressure reached alert Venting: Exhaust duct for pump NW 25 Rotary pump exhaust Power supply: 100 VAC, 15 A, Single phase.
SAMCO RIE-1Cは、SAMCO、 Inc。が製造するラピッドイオンエッチャー(RIE)です。様々な素材のエッチングやアッシング用に設計されています。このヘビーデューティエッチャーは、電子制御された高出力RFジェネレータを使用して、さまざまな材料をエッチングまたはアッシングすることができる非常に反応性の高いイオンビームを生成します。装置は化学実験室、研究センター、大学およびハイテク産業の使用のために適しています。RIE-1Cの主な特徴は、その高出力RF発電機です。この発電機は、4.2kWまでの電力を生成することができ、迅速なエッチングとアッシングプロセスを可能にします。また、正確な電力制御とポンピング速度のためのデジタルコントローラが装備されています。このコントローラは、デジタル表示コンソールを備えており、ユーザーは簡単に異なるエッチングおよびアッシング手順のための電源やその他のパラメータを調整することができます。さらに、エッチャーは多層構造を持っています。外の層(陰極)は重い合金材料から成り、内部の層(基質)はチタン合金から成っています。この二重層の構造はイオンビームを高め、エッチングされた材料の一貫して良質を保障します。RFジェネレータは、外部コンデンサから供給される直流によって駆動されます。これは、長期的なエッチングおよびアッシングプロセス中であっても、途切れることなく電力を供給するのに役立ちます。SAMCO RIE-1Cには、水冷ポンプ、ガスタンク、RFコイル、自動焦点レンズ、ガスフィードアダプターなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。これにより、さまざまなエッチングおよびアッシング用途が可能になります。余分特徴として、RIE-1Cにまたエッチングされ、灰にされた材料を保つ反反バックラッシュの構造があります。結論として、SAMCO RIE-1Cは強力なエッチャーとアッシャーであり、特に化学実験室、研究センター、大学、ハイテク産業での使用に適しています。高出力のRF発電機、デジタルコントローラ、二重層構造を備えており、一貫して高品質のエッチングおよびアッシュ材を提供します。RIE-1Cには、さまざまなエッチングおよびアッシング用途を可能にするさまざまなアクセサリーも付属しています。
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