中古 SAMCO PD-2400L #9292386 を販売中

ID: 9292386
PECVD System.
SAMCO PD-2400Lは、金属、ガラス、セラミックス、半導体などの基材に精密エッチングとアッシングを提供するために設計された精密アッシャー/エッチャーです。その設計には、モーター付きリフト装置、統合された油蒸気バスシステム、および汚染を低減するための二重壁の真空チャンバーが組み込まれています。電動リフトユニットは、事前に定義されたエッチプログラム上で基板の正確な垂直移動を保証し、各サイクルで再現可能な結果を提供します。統合されたオイル蒸気の浴室機械は2部から成っています:オイル蒸化器およびオイル蒸気容器。オイル蒸発器はエッチング処理中に基板に存在していたかもしれない残りの揮発性有機化合物(VOC)を除去するために使用されます。その後、蒸気は油蒸気容器に集められ、さらなる分析が行われます。二重壁の真空チャンバーは、酸素と不活性ガスのレベルが低いクリーンな環境を提供し、エッチング工程中に汚染が発生しないようにします。PD-2400Lは、エッチング処理を正確に制御するためのプログラマブルロジックコントローラ(PLC)、デジタル温度コントローラ、デジタル圧力計、および正確で繰り返し可能なエッチングのためのデジタルタイマーなど、さまざまな機能を備えています。さらに、このツールにはレーザー誘導エッチングチャンバードアが付属しており、エッチング処理中に基板に簡単にアクセスして正確に表示することができます。SAMCO PD-2400Lには、高温および低温のレーザープローブ、温度センサー、液面センサー、圧力センサー、負荷/力センサーなど、幅広いセンサーが装備されています。このセンサーの配列は、他のアッシャー/エッチャーに比類のないレベルの自動化と精度を可能にします。PD-2400Lには、ガスレギュレータ、過圧検出器、衝撃検出器、真空インターロック資産など、さまざまな安全機能があり、エッチングプロセスに関与する人員の安全性を保証します。また、SAMCO PD-2400Lは環境に優しく、低騒音レベルと揮発性有機化合物(VOC)レベルを排出するように設計されています。また、高いエネルギー効率と信頼性を備え、高い生産性を実現しています。全体的PD-2400Lは、さまざまな基材に精密なエッチングとアッシングを提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。モーター付きリフト装置、統合された油蒸気バスシステム、および二重壁の真空チャンバーは、クリーンで汚染のない環境を提供します。さらに、低騒音とVOCレベルは、環境に優しいユニットであることを保証するのに役立ちます。
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