中古 SAMCO PD-200D #9155559 を販売中
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ID: 9155559
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Automated ion assisted PVCVD systems, 8"
Etching and deposition of Carbon films
DLC Deposition rate: 20-30um per hour
Anisotropic etch rate: 0.25u per min
Active substrate temperature control
Compound turbo main chamber
Auto chamber lift
Xinix 1014 Endpoint detector
Chemical series Osaka TG-713M 600 lps
(3) MFC Gas lines
Luxtron 712 Fluroptic thermometer
Sierra 5000 Gas leak detector
Techware TC-111 process controller
13.5 6MHz solid state generator
Iwatsu SG-4101 RF power pulse generator
Komatsu DR 621 Isothermal bath temperature controller
Luxtron 712 Fluoroptic thermometer
Luxtron 1015 End point controller
Mitsubishi NF-SF Pressure lugs for circuit breaker
Baratron type 622A, 627A and 628A capacitance manometers
Neslab RTE-111D Refrigerated bath / Circulator (Chiller)
5RK90GU-AMUL Electromagnetic brake motor
TKC REX-F900 Temperature controllers for source MFC and oven
Sentry 5000 Gas monitoring system
641PM-26P1-X Adaptive pressure controller
64244-PE52-X Control gate valve
Gases: Nitrogen (N), Argon (Ar), Oxygen (O2) for etching DLC films CF4
20-1000 Watts
Power: 10.8 KVA 3Φ 208V AC
4.6 KVA 1Φ 115V AC
1996 vintage.
SAMCO PD-200Dエッチャー/アッシャーは、微調整された部品の大量生産に適した信頼性の高い最先端の量産装置です。このシステムは、統合エッチングツールを備えた高性能AMECロボットアーム、マイクロプロセッサ制御の酸蒸気生成室、および安全機能を内蔵した本体ユニットで構成されています。AMECロボットアームは、ウェーハ表面のスクレイピング、溝の切断、穴、リッジ、微調整された形状など、エッチング工程のすべてを正確かつ確実に処理するように設計されています。その設計は、部品がアンダーカットやその他の不要な効果なしに所望の深さと形状に正確にエッチングされることを保証します。ロボットの高い再現性により、同じ部分を複数の実行でエッチングすることができます。マイクロプロセッサ制御のエッチングチャンバーは、急速ポンピング、クリーンルーム等級の酸蒸気を使用して、0。2 µmの間隔で繰り返し精密なエッチングを保証します。チャンバーは、迅速な再起動と中断のない長期生産のための急速な酸補充で設計されています。その設計により、酸蒸気が正確に適切な速度で放出され、部品の蒸気の付着を防ぎ、危険な過不飽和を防ぎます。PD-200Dは、オペレータとロボットアームの両方の安全機能を備えています。本体ユニットは、極端な要素や汚染物質から保護するためのイオンおよびガス管理システムを内蔵した完全な水冷ステンレススチールエンクロージャです。密閉されたコントロールユニットは、電気安全証明書を備えており、エッチング室の酸含有量を安全目的で継続的に監視します。メンテナンスやオペレータのニーズに応じて、警告アラームや機械のシャットダウンを提供するために、さまざまな安全センサーも含まれています。汎用性の高い生産グレードのエッチャー/アッシャーとして、SAMCO PD-200Dツールは、大量の金属エッチングとアッシングに適しています。信頼できる設計により、精度、再現性、安全性を備えた微調整された部品を製造できます。
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