中古 RAMCO RAM-8500Z #9158963 を販売中

RAMCO RAM-8500Z
ID: 9158963
ウェーハサイズ: 8"
Plasma ashers, 8" Batch type.
RAMCO RAM-8500Zは実験室および研究の適用のための高スループットおよび性能のために設計されているエッチャー/アッシャー装置です。8インチプラテンエッチャー/アッシャーは、幅広いエッチングおよびアッシングソリューションを使用して、イメージング、エッチング、アッシング用に設計されています。プログラマブルエッチングレート、フレキシブルエッチングシーケンス、レシピ作成、ウェットアッシングとドライアッシングの切り替え機能、エッチングレートの上下回転機能などがあります。8インチのプラテンを搭載した高速直流(DC)エッチャー/アッシャーで、-30°〜+500°Cの調節可能なプラテン温度範囲です。また、温度を監視し、エッチングパラメータを設定するために使用できるコントロールパネルを備えています。最大エッチング速度は300nm/sec、可変エッチング時間は0〜999秒です。RAMCO RAM 8500Zは、金属、SiO2、石英、半導体、その他の材料を含む幅広い基板をエッチングおよびアッシングすることができます。洗練されたエッチングおよびアッシング制御により、エッチング速度を正確に制御し、異なる基板上で均一なエッチング/アッシングを行います。また、調整可能なマスキングピンを備えており、正確で繰り返し可能なエッチングとアッシングを保証します。RAM-8500Zは容易なセットアップおよび操作の信頼でき、反復可能なエッチングおよびashing操作のために設計されています。維持することは容易長期安定した操作および最低の維持の条件と、です。このユニットはまた、実験室環境の安全性を維持するのに役立つ無煙動作を提供します。さらに、RAM 8500Zには、マルチステップエッチングルーチンやエッチングレート監視など、いくつかの高度な機能があります。このマシンはまた、データの保存と搬送を可能にし、エッチング条件と結果のテストと分析を可能にします。RAMCO RAM-8500Zはまた、異なるシステム間のデータ転送をサポートする高速接続実装を備えています。全体として、RAMCO RAM 8500Zは、高スループット、正確かつ再現性のあるエッチング機能を備えた高度なエッチャー/アッシャーであり、ラボや研究アプリケーションに最適なエッチングソリューションです。高度なエッチングとアッシング機能を備えた信頼性が高く、使いやすく、メンテナンスも簡単です。
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