中古 PVT RIE-212IPC #9387000 を販売中
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PVT RIE-212IPCは、半導体産業のために特別に設計されたエッチャーおよびアッシャー装置です。RIE-212IPCは、ウェーハ、フリップチップ、3D構造など、幅広いサンプルを処理できる高品質で高度なエッチングおよびアッシングシステムです。このデバイスは、RIEソース、反応チャンバ、マルチゾーンチャックユニットを備えています。PVT RIE-212IPCのRIEソースは、マイクロミニチュア構造を制御された方法でエッチングするように設計されています。高度な制御システムを備えているため、選択性、生産性、均一性など、幅広いエッチングパラメータで洗練された操作が可能です。また、RIEソースは、コンデンサの負荷に対する可変電源機能と補償を提供し、エッチング処理が正確で信頼性の高いものであることを保証します。RIE-212IPCの反応チャンバーは、一貫したエッチングとアッシング操作を保証するように設計された高性能ユニットです。冷却技術が統合されており、熱負荷と高度に制御されたガスの流れを最小限に抑えてプロセスを確実に実行し、汚染を防ぎます。PVT RIE-212IPCのマルチゾーンチャックマシンは、エッチングおよびアッシング操作の両方でサンプルを保持および処理するように設計されています。カーボンストリッププロセスを備えており、チャックに残留物を残さずにサンプル処理を可能にし、完全なプロセス変動を実現します。また、プロセスモニタを内蔵し、最適なプロセスパラメータを一貫して維持することができます。全体として、RIE-212IPCは高度なエッチングとアッシングツールで、高い精度と信頼性を提供するように設計されています。このエッチングおよびアッシャーモデルは、RIEソース、反応チャンバ、マルチゾーンチャックアセットにより、幅広いサンプルを処理し、一貫した結果を得ることができます。
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