中古 PVA TEPLA / TECHNICS 400 Inline / PS400 #9316064 を販売中
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ID: 9316064
Microwave plasma system
Chip packaging
Vacuum pump system:
LEYBOLD RUVAC Rotary vane pump
LEYBOLD RUVAC WSU 251 PFPE Roots blower booster vacuum pump.
PVA TEPLA/TECHNICS 400インライン/PS400は、リモートプロセス制御用に特別に設計された次世代のエッチャー/アッシャー装置です。この産業用エッチャー/アッシャーシステムは、精密ウェハとエッチング技術を使用して、パターン、彫刻、マイクロパーツなど、さまざまな材料の複雑なディテールを作成します。自動ローディングを備えた精密ウェハハンドリングユニットを内蔵しています。TECHNICS 400インライン/PS400は、エッチングプロセス全体を自動化するフルブローモーションコントロールマシンを備えています。これには、ウェーハのロードとアンロード、ウェーハの回転運動の制御、エッチング強度、エッチング時間、エッチング深さ、およびその他のプロセス変数の決定が含まれます。PVA TEPLA 400インライン/PS400は、その精度により、ミリメートルレベルの精度で表面にパターンをエッチングすることができます。このツールは、エッチングプロセスを最適化するために特別に開発されたPVAのフラッグシップエッチケミストリーを使用しています。化学物質はエッチングされる材料にカスタマイズされ、エッチングされる表面に最適化されます。これにより、汚染や廃棄物を最小限に抑えながら高エッチング率を実現します。適切な化学を活性化することにより、アセットはエッチングされる表面の特性を変更することができ、ユーザーは複雑なパターン、デザイン、およびマイクロパーツを作成することができます。400インライン/PS400は使いやすさのために設計されています。ユーザーには一連の画面上の指示が表示され、最初から最後までエッチングプロセス全体を通過します。エッチケミストリーの選択からエッチパターンの設計まで、ユーザーはソフトウェアの指示に従わなければなりません。このモデルはまた、エッチングサイクル全体を通してプロセスパラメータを監視するように設計されており、エッチング中の進捗状況に対するフィードバックをユーザーに提供します。PVA TEPLA/TECHNICS 400インライン/PS400は、外部汚染物質から機器を保護し、過酷な産業環境での使用に適した堅牢なステンレススチールフレームに囲まれています。また、最適なプロセス制御とパフォーマンスを保証する組み込みの水、電源、真空保護システムも含まれています。TECHNICS 400インライン/PS400は、航空宇宙、医療、自動車、家電など、さまざまな産業での使用に適しています。このシステムは、高速かつ正確なエッチング速度と微細部品生産を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。また、完全に設定可能で柔軟性があり、ユーザーは正確なニーズに合わせてユニットをカスタマイズすることができます。
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