中古 PVA TEPLA Sam 400 Twin #9354501 を販売中

PVA TEPLA Sam 400ツインは、各種基板の優れたエッチング/アッシング用に設計された高性能エッチャー/アッシャーです。市場で最も先進的なエッチング/アッシングシステムの1つであり、エッチング/アッシング時間が短いため、高精度な結果を得ることができます。このユニットは、エッチング/アッシング性能を最適化するために個別に加熱および制御されるデュアルエッチング/アッシュ処理チャンバを備えています。二重室は異なった物質とのetch/ashプロセスを遂行するために異なった変数とプログラムすることができます。この装置は、基板タイプに合わせて調整可能な複数のエッチング/アッシュサイクルタイプとステップシーケンスを提供します。Sam 400 Twinは多くの高度な機能を提供しています。反応プロセスを監視するための高度な材料およびプロセス制御システムと、ユーザーがさまざまなパラメータを調整することができる操作しやすいデジタルコントローラを備えています。大気圧や温度に対応し、エッチング/アッシングガス混合物から不純物を除去するためのろ過ユニットを内蔵しています。PVA TEPLA Sam 400ツインは、片面モードと両面モードの両方で動作できます。片面モードでは、単一のウェハがロードされ、エッチング/アッシングのためにプロセスチャンバーに移動します。両面モードでは、2つのウェーハがプラテンの反対側にロードされ、両側のエッチング/アッシングのためにプロセスチャンバーに下げられます。このユニットの設計により、寿命を延ばすための部品のメンテナンスと交換が容易になります。フィルターブラシやサンプルホルダーなどの機械メンテナンス用のアクセサリーやツールを豊富に取り揃えており、サンプル素材の除去を最適化しています。全体的に、Sam 400 Twinはエッチング/アッシング時間が短い優れたエッチング/アッシング結果を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。強力な機能、高度な材料とプロセス制御、簡単なメンテナンスを兼ね備えているため、さまざまなエッチング/アッシング用途に理想的なオールインワンソリューションです。