中古 PLASMATHERM / UNAXIS Versalock #9227498 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS Versalockは、UNAXIS Technologies、 Inc。が開発した最先端のエッチャーおよびアッシャーです。これは、従来のエッチングおよびアッシング方法と比較して優れた性能とプロセスの柔軟性を提供します。UNAXIS Versalockは、高出力のRFソースとマルチチャンバー真空システムを使用してエッチング機能とアッシング機能の両方を可能にする高度なプラズマエッチングおよびアッシング機器です。PLASMATHERM Versalockは、2つの完全に統合された熱流れチャンバーと、2つのマグネトロンと2つのプラズマジェットの組み合わせを使用して、特定の乾燥プラズマエッチングプロセスを均等かつ迅速に提供します。Versalockは高精度で高度な制御ユニットを備えており、電力、ガスの流れ、圧力、温度などのエッチングパラメータを正確に制御できます。これにより、エッチング工程を厳密に制御することができ、最適な製品性能が得られます。PLASMATHERM/UNAXIS Versalockは、4基の独立したガス炉を備えており、汚染の影響を低減し、精度を高めるのに役立ちます。UNAXIS Versalockはモジュラーおよび交換可能な部品の新しい機械を特色にします、ユーザーはよりよく適用に一致させるためにエッチングおよびashingシステムをすぐにそして単にカスタマイズすることを可能にします。これにより、ユーザーはプロセスを効率化し、PLASMATHERM Versalockの機能を最大化できます。Versalockはまた、高速な乾燥時間と高いスループットを可能にする高真空ポンプ速度を備えています。全体として、PLASMATHERM/UNAXIS Versalockは、優れた性能、柔軟性、精度を提供する高度なエッチャーおよびアッシャーツールです。UNAXIS Versalockは、モジュラーおよび交換可能なコンポーネント、および高真空ポンプ速度をカスタマイズしやすいため、精密エッチングとアッシングに最適なツールです。