中古 PLASMA-THERM VLR700G1 #9352047 を販売中

PLASMA-THERM VLR700G1エッチャーおよびアッシャー装置は、高精度エッチングおよびアッシングプロセスのための完全で正確なソリューションを提供します。パワフルでプログラマブルなパルスプラズマ源を搭載したパワフルなシングルチャンバーエッチングとアッシングプラットフォームを提供します。このシステムは、エッチングとアッシングの時間とコストを削減するためのデュアルベークオフ技術により、フルエッチング/アッシュゾーン全体の均一性を最大化するように設計されています。デュアルエネルギーパルスソースは、迅速なエッジプロファイリングと迅速な表面洗浄を保証します。高感度制御システムは、すべてのエッチング/アッシュパラメータの正確な電力供給と制御を可能にし、反復可能で信頼性の高い結果を可能にします。オンボードソフトウェア内でカスタマイズ可能なレシピ生成により、繰り返し可能なプロセスと正確な結果を得ることができます。ユニット内のマルチチャンバーRF電源供給により、効率的で再現性の高いエッチングまたは灰深度を実現します。高精度の加熱プロセスはまた、サンプル内でよく制御され、既知の拡散を生成します。プラズマチャンバー内の洗練されたガス分配プロセスにより、再現性の高い結果と、クリーンエッチングと灰の条件がさらに保証されます。このマシンは、プロセスパラメータの使用率と明瞭さを最適化するためにも設計されています。グラフィカルなユーザーインターフェイスにより、レシピの生成から基板の準備、プロセス制御まで、簡単で直感的なワークフロー構成が可能です。データ収集およびプロセス分析ツールは、包括的で一貫した制御スケジューリングと監視を作成します。エッチャーとアッシャーツールは、高度なプロセス制御と正確な結果VLR700G1実現するために、現代のエッチングとアッシングのニーズに最適なソリューションです。エッチングとアッシングプロセスに効率的で経済的で信頼性の高いソリューションを提供します。