中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293670958 を販売中
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OXFORD Plasmalab 80 Plusは、ラインエッチャー/アッシャー機器のトップです。主に半導体業界で薄膜、成膜、エッチングの製造に使用されています。このシステムは、低消費電力で費用対効果の高いプロセスを利用しながら、優れたエッチング解像度と高品質のフィルムを実現するように設計されています。Plasmalab 80 Plusには、グローバル電源、電子圧力コントローラ、電子銃、および必要なベース圧力が5x10-7 Torr (35 mBar)の高真空ユニットが装備されています。精密なガス調整が可能な統合ガスパネルにより、精密なプロセス制御が可能です。エッチチャンバーは、優れたプロセス均一性を提供するように設計され、構築されています。さらに、OXFORD Plasmalab 80 Plusには、均一なフィルム生産を保証するために設計された裏面冷却ステージが統合されています。さらに、最適なサブミクロンのエッチングとプラズマクリーニング解像度のために設計されたPlasmalab 80 Plusには、最大のパフォーマンスレベルを確保するために多くの機能とコンポーネントが装備されています。高度なイメージングオプティカルマシンを使用すると、エッチング処理をリアルタイムで監視できます。また、オートフォーカスのオートステレオスコーピックヘッドツールを使用すると、必要なイメージングパラメータを維持できます。このアセットには、最大4つのエッチングプロセスを1つのチャンバーで同時にプログラムおよび操作できるマルチモード機能も装備されています。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、プロセス性能をリアルタイムで監視するための何百もの検査画像を提供する品質フィルム検査ビデオモデルも備えています。最後に、統合されたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)は、プロセスをプログラムして監視するための正確で直感的な方法を提供します。Plasmalab 80 Plusは、優れたエッチング解像度と高品質の薄膜を低コストで提供する、非常に求められているエッチャー/アッシャー機器です。堅牢な電源、統合ガスパネル、マルチモード機能を備えたこのシステムは、半導体業界の要件を満たすために非常によく装備されています。バックサイド冷却ステージとイメージング光学ユニットを内蔵しているため、最適な均一性と効率的な生産が可能です。最後に、OXFORD Plasmalab 80 Plusエッチャー/アッシャーは、ユーザーフレンドリーなGUIとフィルム検査ビデオマシンによって支えられ、最高レベルのパフォーマンスと満足度を保証します。
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