中古 OXFORD Plasmalab 100 #293591996 を販売中

OXFORD Plasmalab 100エッチャー/アッシャーは、エッチングおよびアッシングプロセスの幅広い用途向けに設計された洗練された精密機器です。高度な制御とプロセスパラメータの結果として、最高レベルの性能と精度を提供するために開発されました。Plasmalab 100は、真空ロードロックを備えた、完全に密閉されたチャンバー機器です。このロードロックは熱安定性を向上させ、粒子汚染のリスクを低減します。また、エッチングおよびアッシングプロセスの所望の最小圧力が維持されるようにします。基板や部品を処理室に素早く搬送できるため、高スループット用途に特に適しています。OXFORD Plasmalab 100は、正確で一貫した基板温度を確保するために、さまざまな基板暖房制御技術を提供しています。その結果、エッチング時に優れた温度安定性を提供し、より困難な材料をアッシングすることができます。さらに、このユニットはリニアグリッドスキャナを備えており、コンポーネントの精密かつ計測的に最適化されたエッチングを可能にします。Plasmalab 100は、オプションのリモートコントロールも提供しています。この機能により、ユーザーは自分のデータとプロセスにリモートでアクセスでき、より詳細なオンサイトサポートが可能になります。オンサイトサポートは、統合されたMicrosoft Windowsベースのソフトウェアアプリケーションによってさらに有効になり、制御とデータ管理が容易になります。エッチングとアッシングマシンは、オプションのアクセサリーと消耗品の範囲でさらにサポートされています。これには、チャンバーとロードロック用の専用クリーニングソリューションが含まれ、最適な作業環境と工具の寿命を確保します。さらに、窒素、アルゴン、ヘリウムビーム源の使用など、さまざまなサンプル処理キットにアクセスできます。OXFORD Plasmalab 100エッチャー/アッシャーは、要求の厳しいエッチングおよびアッシングプロセスのニーズを満たすように設計されています。その高度な機能の範囲は、優れた制御と精度を提供し、精度の結果を必要とするアプリケーションのための理想的なツールとなります。