中古 OXFORD 80 #9140533 を販売中

OXFORD 80は優れた精度と制御を備えたマルチレベルの高速エッチャー/アッシャーです。OXFORD Instrumentsによって製造され、製造および研究環境における半導体ウェーハのドライエッチングおよびアッシング用に設計された完全な装置です。このシステムの設計と機能により、可変圧力とターボポンプを備えた高度な薄膜エッチングおよびアッシング用途に最適です。その高度な設計により、化学物質の使用を最小限に抑えることができ、コストと環境への影響の両方に有益です。80には、エッチングチャンバー、エッチングチャンバー、アッシャーチャンバーの3つのプロセスチャンバーがあり、それぞれに個別のガスと圧力制御を備えています。エッチングチャンバーには、圧力制御バルブと圧力計が内蔵されており、一定の圧力プロセスとパルス圧力プロセスの両方を可能にします。また、低圧検出時にトリガーされる自動安全遮断ユニットも備えています。エッチングチャンバーフォーカスはまた、統合された圧力制御を提供し、微細な構造をエッチングする際の低加工圧と改善された制御を可能にします。アッシャーチャンバーにはターボポンプと可変圧力バルブが装備されており、さまざまな化学薬品を使用する際の優れた制御が可能です。OXFORD 80はプロセス化学の点で非常に互換性があり、広範囲の材料をエッチングして灰にすることができます。精度とプロセス制御により、正確な再現性が得られ、取り外し可能なガス供給ラインと回転可能な排気翼により、さまざまなエッチング化学製品の構成が容易になります。マシンは非常に耐久性があり、さまざまな機能があり、長時間の生産に耐えることができます。これは非常にユーザーフレンドリーで、簡単なデジタル制御ディスプレイにより、ダウンタイムを最小限に抑え、プロセスの詳細な概要を提供します。要約すると、80は半導体ウェーハのドライエッチングとアッシングに最適です。その精度、耐久性、制御により、生産および研究環境に最適であり、使いやすさと互換性がダウンタイムを最小限に抑え、生産効率を最大限に高めます。