中古 OCCLEPPO 650-97-P-150 #9003042 を販売中

OCCLEPPO 650-97-P-150エッチャー/アッシャーは、高度なウェーハ処理アプリケーションに最適です。この機械は高いプロセス反復性および長期信頼性を提供します。その2レベルの温度制御装置は、高い歩留まりを達成するために不可欠である優れたプロセス温度安定性を保証します。エッチャー/アッシャー650-97-P-150、広々とした300マイクロリットルプロセスチャンバーを備えており、直径150 mmまでのウェハの直接エッチングとアッシングを可能にします。このチャンバーには、エッチングおよびアッシング処理中にウェーハを確実かつ正確に保持および輸送する25位置の回転エンドエフェクターが装備されています。また、Variabled Pressure Processing （VPP）システムを備えており、ウェーハの完全性を損なうことなく、より高いエッチングと灰の速度を保証します。OCCLEPPO 650-97-P-150エッチャー/アッシャーには、ウェーハ汚染を最小限に抑えるためのパーティクルフィルトレーションユニットが内蔵されています。統合された液体ガスインジェクタと高度な二重温度制御システムを備えており、プロセスの柔軟性を高めています。また、均一なウェーハ加熱を実現する誘導加熱機、およびプロセス追跡用のアナログおよびデジタルI/Oを備えたプロセスモニタリングツールを備えています。安全性と利便性650-97-P-150向上するため、エッチャー/アッシャーには、安全インターロック、漏れおよび過圧ロックアウト回路、絶縁排気口、および統合された消火アセットが含まれます。OCCLEPPOには、簡単なプロセス設定のための10ステップのタッチスクリーンコントローラがあり、すべての重要なパラメータがLCDディスプレイで明確に監視されています。OCCLEPPO 650-97-P-150エッチャー/アッシャーは、複数のソース・ガスと互換性があり、異なるガスに対して簡単に校正することができます。コンパクトな設計で、加工ラインへの組み込みに最適です。OCCLEPPOは、優れたビルド品質と信頼性の高いパフォーマンスにより、効率的で正確なウェーハ処理アプリケーションに最適です。