中古 OCCLEPPO 650-97-P-150 #193956 を販売中
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OCCLEPPO 650-97-P-150エッチャー/アッシャーは、幅広いエッチングおよびアッシング用途において優れた性能と堅牢な信頼性を提供するように設計された、高度でプラズマ強化された反応イオンエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、無数のエッチング機会を提供する最先端の石英プラテンエッチャーで設計されています。プラズマ強化反応イオンエッチングおよびアッシング装置650-97-P-150、非対称チャンバごとに最大150アンペアの電流を供給できる堅牢な電極電源によって駆動されます。このマシンには、50MHzまでの周波数を提供する機能を備えたマルチソースRFジェネレータが装備されています。これにより、ポリマー、金属、セラミックス、半導体、メガネなど、さまざまな材料を扱うことができます。この資産は、高精度のギャップ調整モデルと高度な統合ガス配送システムで設計されています。これらにより、装置はエッチングまたはアッシングプロセスを最適化するためにエッチング/アッシュギャップと化学を正確に調整することができます。高度な統合ガス供給システムは、エッチングまたはアッシング処理中に不要なハロゲン化副産物を効率的に除去することも保証します。OCCLEPPO 650-97-P-150エッチャー/アッシャーには、エッチングまたはアッシングプロセス中に放出される可能性のある有害粒子やガスを完全に封じ込めるための、自己完結型の負圧排気フードなど、業界をリードする安全機能が含まれています。これは労働者の安全を保護し、危険な材料への露出を防ぐのに役立ちます。このシステムはまた、エッチングまたはアッシング処理中に作成された粒子を効率的に収集および除去するための堅牢で統合された真空ユニットを備えています。統合されたクローズドループフィードバックマシンは、プロセスを継続的に監視し、ツールが最適な動作を保証するために自動調整を行うことができます。650-97-P-150は、高温環境に耐えるように設計された高品質のアルミニウムチャンバーで構築されており、最高温度定格は摂氏400度です。アセットはまた、低ノイズ電子エンクロージャで設計されており、電気ノイズに対する保護の追加層を提供します。結論として、OCCLEPPO 650-97-P-150は、優れた性能、堅牢な信頼性、および幅広いエッチングおよびアッシング操作のための追加された安全性を提供する高度なハイエンドエッチャー/アッシャーモデルです。
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