中古 NORDSON MARCH X-TRAK #293608227 を販売中

ID: 293608227
ヴィンテージ: 2005
Plasma cleaners 2005 vintage.
NORDSON MARCH X-TRAKは、ウェハレベルのデバイスのテストと製造のために設計された自動エッチング/アッシュ処理プラットフォームです。デュアルヘッドデザインのNORDSON MARCH XTRAKは、スピードと精度を向上させ、エッチングとアッシングの両方を1つのプラットフォームで柔軟に実行できます。X-TRAKは、専用のエッチングヘッドとボトムアーム、アッシングヘッドを備えたトップアームを備えています。これにより、ユーザーはシステムの前面にあるジョイスティックを使用して、X、 Y、またはZ軸のウェーハまたはフィクスチャを正確に移動できます。XTRAKは、データ入力とプログラミングのために外部PCに接続され、追加の機器にも接続することができます。NORDSON MARCH X-TRAKは、ステンレス鋼やその他の材料から構成されており、エンクロージャ内に密閉された不活性な雰囲気があり、化学物質の安全な取り扱いを保証します。これは、ユニークなセミクローズドループのガス供給ユニットと自動サンプリングによって可能になります。O2、 N2、またはAr制御機は、さまざまなエッチングおよびアッシングガスを幅広い材料に対応できます。エッチング操作を行う際には、NORDSON MARCH XTRAKのエッチングヘッドを使用します。調整可能なパラメータを備えた2つの標準オプションがあり、適切なエッチング速度、温度、深さを選択できます。エッチングヘッドには自動パーティクルフィルタリングツールも装備されており、清潔な作業環境を維持できます。X-TRAKのアッシングヘッドは、赤外線加熱を使用して、熱を過剰に使用せずに表面を迅速かつ効率的にアニールまたはコートします。これは、処理される材料に合わせて制御された速度で行われ、過剰な加熱による潜在的な破壊を排除します。最後に、XTRAKの組み込みの安全機能は、危険物との接触からユーザーや技術者を保護するのに役立ちます。予期しない事象が発生した場合の自動シャットオフと、アセットを開いたときに作動する真空トリガーを備えており、モデルに存在する危険物質を安全に抽出できます。NORDSON MARCH X-TRAKは、大量のエッチングとアッシングの両方のニーズに最適です。自動化された完全にプログラム可能なプラットフォームにより、ウェーハレベルの処理ニーズの多くに対して効率的で安全で信頼性の高いソリューションです。
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