中古 MEMSSTAR ORBIS Alpha #293657883 を販売中

MEMSSTAR ORBIS Alphaは、幅広い表面処理アプリケーションに対応するように設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。この汎用性の高いエッチャーは、金属、セラミックス、複合材料、プラスチック、その他の様々な材料を含む幅広い基板を扱うことができます。このシステムは、空気、酸素、窒素、水素、アルゴン、キセノン、クリプトン、ヘリウム、一酸化炭素、六フッ化硫黄、三酸化硫黄の合計11個のプロセスガスを持つ2つの独立したプロセスチャンバーを提供し、エッチング速度の体系的な変化を可能にします。ORBIS Alphaには、片面および両面プロセスの機能を提供する高度なクワッドゾーンプロセスチャンバーが装備されています。これにより、1つのプロセスで4つの別々の表面領域にわたる基板の効率的かつ効果的なパターニングが可能になり、ブランクエッチングとアッシャー、および1つのチャンバー内の選択性エッチングが可能になります。MEMSSTAR ORBIS Alphaのユニークで効率的な設計により、業界をリードするパフォーマンスと柔軟性を提供します。低SADおよびSOG表面処理を実行する機能により、アンダーカットと相対的な表面粗さを制御しながら、正確なプロファイルとエッチングレート制御を提供できます。これにより、金属基板やセラミック基板において、高アスペクト比の開口部と線幅を1ミクロン以下とする表面処理が可能となります。ORBIS Alphaの高度な温度制御エッチングとアッシングにより、プロセスパラメータを正確に制御し、連続したバッチで結果を再現できます。高出力マイクロ波、高周波および高圧プロセスガスの独自の組み合わせにより、優れたエッチングおよび成膜結果が得られます。MEMSSTAR ORBIS Alphaは、高感度のサーマルセンサーを内蔵しており、プロセスパラメータや洗練された安全システムを精密に調整し、過熱から基板を保護します。さらに、カセットローダー、パーツスクリーナー、パーティクルデフレクターなど、幅広い周辺機器を内蔵しており、信頼性、再現性、堅牢な表面処理を容易にします。全体として、ORBIS Alphaは高度で柔軟で汎用性の高いエッチャーおよびアッシャーであり、優れた分析性能と再現性を提供します。使いやすい操作と包括的な安全システムにより、このシステムはMEMS、半導体、光学産業の多くの用途に最適です。