中古 MAXIS 300LA #9402510 を販売中

MAXIS 300LAは、多くの種類の研究、実験室、産業用途に適した高性能エッチャー/アッシャーです。エッチング、アッシング、デコートタスクにおいて卓越した性能、スピード、精度を提供します。これは、浅いエッチングチャネルからウェーハのディープエッチングまで、幅広い用途向けに設計されています。これは、均質なエッチング深さを確保するために、2つの異なるRF周波数で動作する2つの平行プラズマを使用します。エッチングの深さは300LAソフトウェアによって正確に制御されており、シリコン、半導体、メガネ、金属などのさまざまな基板を使用することもできます。また、エッチングおよびアッシングパラメータの迅速なサイクリングを可能にし、非常に低い所有コストを維持しながら高い生産性を提供します。MAXIS 300LAは堅牢で信頼性の高いコンポーネントで構成されており、安全で中断のない動作を保証します。特許取得済みのプラズマソースで、300mmウェーハエッチング容量と200mmウェーハアッシング容量を備えています。それにまた低い操業費用を保障する長い生命真空ポンプがあります。レシピ、マクロ、パルスオプションなど、多目的でユーザーフレンドリーなソフトウェアオプションがあります。これにより、最も洗練されたアプリケーションの要求を満たすことができます。300LAには、ステップモーターインターフェイス、基板ヒーター、種質量分析計インターフェースなど、いくつかのアクセサリーも付属しています。MAXIS 300LAは、幅広い用途向けに設計された堅牢なエッチングおよびアッシングシステムです。その高性能機能は、所有コストのメリットと組み合わせて、このツールは、最も要求の厳しいアプリケーションの場所を与えます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアオプションとアクセサリーは、研究グループ、研究室、産業エッチング用途に最適です。