中古 MAXIS 300LA #293591993 を販売中

MAXIS 300LA
ID: 293591993
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
ICP Etchers, 12" 2012 vintage.
MAXIS 300LAは、マイクロエレクトロニクス、バイオメディカルおよびマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)業界の幅広い材料を処理できる高性能プラズマエッチング機です。それは大きい、300mmの直径のエッチング部屋を特色にします;速く、高精度のプロセス編集を容易に可能にします;オペレータ制御とデータ分析を可能にする柔軟なワークフロー管理ソフトウェアを提供します。このマシンはタービンベースの真空システムを内蔵しており、圧力範囲は1 x 10-3〜5 x 10-3 mbarです。これにより、さまざまなチャンバー設定を備えた基板のエッチングが可能になり、最高温度は400°Cで、高エッチングが可能です。さらに、プロセス開始時間が3分未満の高速なアプローチを可能にします。300LAの高精度処理機能は、レーザー駆動の深度検出とリアルタイム機能認識で自動化されたエッチングレシピの表によってさらに有効になります。このシステムを使用すると、オペレータはフィーチャー認識、アライメント、レシピ選択、高速後処理シーケンスを追跡することができます。MAXIS 300LAはまた、エッチング後の急速な冷却を提供し、クールダウン時間は3分未満です。この冷却システムはまた、エッチング後の高速ウェハ処理を可能にし、平均時間は3分未満です。また、部品の熱効果、エッチング効果、応力効果をシミュレートする高度なモデルも備えており、バーサム化によりプロセスパラメータを最適化できます。300LAは、効率的な運用とQA/QCコンプライアンスを確保するように設計されています。パラメータロック、ポストプロセスデータトラッキング、統計プロセス制御などの機能に加えて、診断およびフィードバック機能も提供し、プロセスの再現性を維持するだけでなく、プロセストラッキングとトレーサビリティも提供します。MAXIS 300LAは完全に自動化された操作も可能で、オペレータが限られた高生産環境に最適です。300LAは強力で高性能なエッチャー/アッシャーであり、幅広い用途に適した多くの機能と利点を提供します。高精度な加工、迅速な結果、低プロセスのダウンタイムをお探しのお客様に最適です。
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