中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #9372749 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Polyは、半導体デバイスの製造において精密なウェーハエッチングを実現するために設計された高性能エッチング装置です。このシステムは、エッチング時間と精度を最適化した優れたウェーハスループットと、エッチング機能の高品質を提供します。このユニットは、完全に統合されたプロセス制御、信頼性の高い再循環パッシベーション、選択的なウェハエッチングなどのスマートな機能を提供します。2300 Versys KIYO Polyは、革新的なウェーハホルダー搬送ユニットを誇り、エッチング処理中にウェーハをしっかりと固定します。また、ウェーハの効率的な積み降ろしのための自動ウェーハハンドリングマシンを搭載し、プロセス時間と精度をさらに向上させています。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Polyは、最新のプラズマ強化化学蒸着（PECVD）技術を搭載しています。PECVD技術は、堆積物の精密なエッチングを保証する静電チャックを備えており、より高いアスペクト比とより小さい特徴を達成するのに役立ちます。エッチング結果は、独自のエッチング後プラズマ洗浄プロセスによって強化され、エッチング処理中に残った残留粒子が排除されます。2300 Versys KIYO Polyは、リアルタイムのチャンバー温度制御も備えており、最適な処理パラメータを維持し、結果の一貫性を確保します。さらに、このツールには、使いやすさと適応性を高めるための直感的なアセットインターフェイスを備えた高度なデジタル制御が備わっています。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Polyはまた、厳しい環境とプロセスに耐える堅牢な設計を備えています。ステンレス鋼とチタン構造により、モデルは耐食性があり、粒子の汚染がないことを保証します。さらに、漏れ検出モニタリングや定期的な化学検査など、環境に配慮した機能を搭載しています。2300 Versys KIYOは、優れた構造と技術により、高度なエッチングおよびアッシング用途に最適です。