中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9249854 を販売中
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LAM RESEARCH 2300 Exelanは、半導体ウェーハ上で高精度でエッチングされた小さな構造を製造するのに役立つ半導体エッチャー/アッシャーです。半導体デバイスの製造に必要なエッチング、酸化物ストリッピング、その他の重要なプロセスを実行できます。2300 ExelanはDC電源および高度の光学検査装置による+/-3%の再現性の小さい特徴の高精度エッチングを提供します。広いプロセスウィンドウを持ち、複数のエッチング処理を順次完了させることができます。LAM RESEARCH 2300 Exelanには、ユーザーがエッチングプロセスパラメータを識別および制御できるプロセス制御パッケージが装備されています。2300 Exelanは高精度でエッチング速度、選択性、均一性、および重大な次元を制御することができます。エッチング深度は+/-150nmで高精度であるため、LAM RESEARCH 2300 ExelanはMEMSデバイスの製造に最適です。2300 Exelanはまた、エッチング中にウェーハの正確かつ安全な位置決めを可能にするクランプシステムを備えています。さらに、LAM RESEARCH 2300 Exelanは、バッチとインラインシステムの両方で構成することができ、柔軟性と拡張性を可能にします。このユニットは、3インチから6インチまでのさまざまなサイズのウェーハに適応できます。2300 Exelanにまた3D ICの製作のためのあるエッチング材料の融点に達することができる高温機能があります。LAM RESEARCH 2300 Exelanは信頼性が高く、過酷な労働条件で一貫した性能を保証する堅牢な設計を備えています。最大30,000ウェーハの動作寿命、または500時間の連続実行時間があります。このマシンは、自動制御ソフトウェアと温度や圧力監視などのクリーンルーム機能を内蔵しており、非常にユーザーフレンドリーです。全体として、LAM RESERACH 2300 Exelanは、高精度で小型の半導体デバイスの製造に最適です。その精度、再現性、汎用性により、MEMSおよびマイクロエレクトロニクスコンポーネントに最適なエッチャー/アッシャーとなります。
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