中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9242074 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan
ID: 9242074
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Oxide etchers, 12" 2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelanは、スループットとパフォーマンスを向上させるために設計された高効率のエッチャー/アッシャーです。複雑な形状やパターンを高精度で再現性のある様々な素材にエッチングすることが可能な全自動マシンです。機械は精密で、良質のエッチングを保障するために多数の洗練された技術を利用します。例えば、カスタム独自のエッチングチャンバーとエッチング用の高圧ガス供給装置を備えています。チャンバーはエッチングを最適な温度と圧力で維持し、最適なエッチング性能を発揮するように設計されています。2300 Exelanはまた速く、正確な自動計量システムを特色にします。これにより、エッチングの正確な量がエッチングごとに使用され、汚染を最小限に抑えることができます。また、空気浸入を最小限に抑えた精密エッチングを実現する真空ユニットを搭載しています。LAM RESEARCH 2300 Exelanは再利用可能な熱電ヒーターを含んでいます、ユーザーが異なったエッチングプロセスのための精密な温度を置くことを可能にします。また、Atom Level Substrate Scanning (ALSC)マシンも含まれており、エッチング処理中に基板をスキャンし、すべてのエッチングが最大限の精度とパフォーマンスを得るために最適化されていることを確認します。機械は容易な維持および信頼性のために、操作の容易さおよび耐障害性の監視のための専用ソフトウェアと設計されています。また、すべてのエッチング蒸気が安全に除去されるように、安全で効率的な排気ツールを備えています。2300 Exelanは信頼でき、一貫した結果を提供するように設計されている強力で、有効なエッチャー/asherです。スループットの向上、精度の向上、エッチング体験の向上を実現します。半導体、バイオテクノロジー、オプトエレクトロニクス分野のエッチング用途に最適です。エッチングの最新技術を備えた信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャーをお探しの方に最適です。
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