中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9242073 を販売中
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LAM RESEARCH 2300 Exelanは、さまざまな材料に精密ガスエッチングを提供するエッチャーまたはアッシャーです。この汎用性の高い装置は、複数のプロセスチャンバーオプションと幅広いツールを組み合わせて、エッチングプロセスをさらに信頼性が高く効率的にします。その用途は、接触ビア、溝および相互接続の金属化のための重要な外部層の薄化から、シリコンやGaAs、 SiCやSiGeなどの硬質材料の深いパターニングまでさまざまです。2300 Exelanは高度なソースデザインを備えており、プロセスの安定性と素早いチェン結果を保証します。このガスエッチャーは、回転式および放射状の高速RFプラズマエッチングをサポートし、優れたプラズマ均一性、高エッチング率、および優れた生成形態学をもたらします。そのアークジェットラインソースは、他のエッチングシステムよりも優れたエッチング結果を提供します。内部ライン幅の制御装置はまた、より正確で信頼性の高いエッチングプロセスを提供します。LAM RESEARCH 2300 Exelanはシンプルでユーザーフレンドリーなインターフェイスで設計されており、迅速なセットアップとプロセスの最適化が可能です。さらに、同じ負荷でバッチ処理とシングルウェーハプロセスの両方を処理することができます。単位はまた機械の操作の安全そして効率の最高レベルを保障する保護および高度の安全特徴を含んでいます。2300 Exelanは非常に効率的で、費用対効果が高く、信頼性の高いエッチャーまたはアッシャーです。これは、優れたエッチング品質と精度を提供し、優れたプロセス制御と製品品質を可能にします。このエッチングツールは非常に使いやすく、さまざまなアプリケーションやプロセスのさまざまな材料を迅速かつ効率的にエッチングできます。
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