中古 KEM / KOKUSAI Lambda 200C #293643013 を販売中
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KEM/KOKUSAI Lambda 200Cは、精密エッチングとアッシング機能を兼ね備えたプロフェッショナルなエッチャーおよびアッシャーです。この装置は、優れた操作性と優れた結果を提供する高度な機能を備えています。KEM Lambda 200Cは、210 x 300mmの広い作業面積を備えており、より大きなエッチングとアッシングの実行を可能にします。また、微細な表面のエッチングやアッシングを可能にするマイクロバイブレーターを搭載しています。ユーザーフレンドリーなコントロールパネルは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途のためのシンプルで直感的な操作を提供します。KOKUSAI Lambda 200Cは、薄膜の信頼性の高い成膜に必要な電力を供給する高性能RFジェネレータを搭載しています。エッチング速度と精度は調整可能で、ユーザーはエッチングとアッシング速度を調整して望ましい結果を得ることができます。さらに、ラムダ200Cは高度な絶縁技術で設計されており、積極的なガスや蒸気を発生させることなく、高い材料エッチング速度を実現します。KEM/KOKUSAI Lambda 200Cのもう1つのエキサイティングな特徴は、最大速度500mm/s、加速度540m/sのどちらの方向にも移動できるx-yステージモーションシステムです。この機能により、プロセス中のサイクルタイムを短縮しながら、精度を向上させることができます。KEM Lambda 200Cは、エッチングおよびアッシング処理中の危険物の安全な取り扱いを確保するために、革新的な自動インラインセキュリティユニットを装備しています。この機械はウェーハの動きを監視し、プロセス全体で偶発的な汚染を防ぎます。KOKUSAI Lambda 200Cのパフォーマンスをさらに向上させるために、このツールには高度なビデオ監視アセットが含まれています。このモデルは絶えずエッチングとアッシングのプロセスを監視し、ユーザーは使用されているパラメータを正確に制御することができます。結論として、Lambda 200Cは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に優れた制御と精度を提供するプロのエッチャーおよびアッシャーです。このユニットは、ユーザーに最適なパフォーマンスと結果を提供するように設計されており、あらゆるエッチングおよびアッシング要件に最適です。
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