中古 HITACHI M 511AE #9400299 を販売中
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ID: 9400299
ウェーハサイズ: 8"
Etcher, 8"
(3) Cassettes / FOUP Position
SECS II Interface
Metal etch: Microwave ECR (M), UHF ECR (U)
Strip: EMCP Asher
Poly etch: Microwave ECR (M), UHF ECR (U), XT Chamber
Oxide etch: Microwave ECR (M), UHF ECR (U)
Signal lamp tower
No AGV
No OHT
ESC Monopolar
No TM Bias enhancement
EC Turbo molecular pump:
SEIKO SEIKI STP-H2001K2 Controller
DAIHEN ES7 EC Source generator
PEARL CF-500-400K EC Bias generator
(2) EDWARDS iQDP8 Loadlock pumps
EDWARDS iQDP80 Pumps
MYDAX 1VL5WB Chiller
Cooling channels
Gas configuration:
Ar / 300
Cl2 / 500
SF6 / 300
CF4 / 100
HBr / 200
Cl2 / 100
O2 / 40
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase.
HITACHI M 511AEは、コンクリート、アスファルトなどの表面に刻印・エッチング用のDCモーターを搭載したエッチャーまたはアスファルトスクライバーです。このモーター駆動マシンは、標識をマーキングまたは作成するためのさまざまな材料の校正と彫刻を実行します。このツールは、マーキングや精密なサイズのエッチングを実行する際に、より高い精度の電子速度制御システムを備えています。速度は100から12,000回/分に調節することができ自動逆(速度上の)制御システムは印刷された印の正確な長さを維持するのを助けます。HITACHI M 511 AEは、深さ調整ノブでストロークの深さを簡単に変更できるように設計されています。このデバイスは、ギアスイッチを使用して、深さを3mmまで増減させます。この機械を駆動する電動モータは、滑らかで正確な動作を確保するために、振動吸収機構を備えており、この機械を使用する際に発生する騒音や振動を最小限に抑えることができます。このマシンには、溝の現在の深さなど、さまざまな電源設定やその他の情報を表示するインジケータが装備されています。また、このマシンは、付属品のための内蔵の収納袋と柔らかい表面ケーシングを持っています。この機械のための付属品はエッチングのためのカーボンストリップセット、粉砕のための研摩のゴム製ホイールおよび用具の容易な変更のためのチャックを含んでいます。M 511AEはコンクリートからアスファルトおよび他の表面に、いろいろな材料の印の作成、細長かった、および彫版のために効果的に働く多目的な機械です。モータは幅広い素材で動作するように開発されているため、さまざまな用途でスピードとステータス設定を簡単に調整できます。洗練されたデザインは、機械が簡単に保存および使用できるようにし、さまざまなエッチング作業のためのいくつかのアクセサリーが付属しています。
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