中古 HITACHI DM 421P #9396134 を販売中

HITACHI DM 421Pは、超微細な微細加工用途向けに設計された先進的なUVエッチャー/アッシャーです。DM 421Pは可変スピードモータを搭載した高速エッチャー/アッシャーで、精密なプロセス制御を必要とする幅広い微細加工プロジェクトに最適です。HITACHI DM 421Pは、8インチのエッチングと灰のチャンバーと高解像度を備え、多種多様なシリーズ生産プロジェクトに最適です。DM 421Pの中心には、微細加工の各コンポーネントの均一性を確保するために、エッチングと灰のサイクルを自動的に調整することで、正確で反復可能な結果を提供するアダプティブスキャン装置があります。HITACHI DM 421Pは、エッチングや灰サイクル時の圧力振動を低減し、運用効率を向上させる2段ポンプシステムも備えています。DM 421Pはまた、迅速なセットアップと新しいプロジェクトを開始するときのサイクルタイムの短縮を可能にする高速開始機能を提供します。また、HITACHI DM 421Pは、プロジェクトの途中でエッチングやアッシングモードをペナルティなしで切り替える柔軟性を提供します。また、DM 421Pは、占有ワークスペースでの使用に適した高度な安全機能を備えています。偶発的なプロセスの電源遮断を防止するための3段階のユニットを備えており、また、ワークスペースに化学物質が流出する可能性を排除する真空ロックマシンを備えています。また、HITACHI DM 421Pは、チャンバー内やサンプルホルダー内での正確な部品配置を可能にする独自の屈折インデックス作成ツールを提供しています。保護機能の面では、DM 421Pは、エッチャー/アッシュチャンバーがサンプルホルダーおよびその他のコンポーネントとは別に加熱されるように設計されており、エッチング/アッシュサイクル全体で一貫した温度を得ることができます。また、紫外線安全資産を日立DM 421Pに統合し、作業者と隣接する人員を安全に保護します。監査証跡機能を使用すると、レビューまたはレポートのプロセスパラメータを記録することもできます。結論として、DM 421Pは、短期および長期の生産プロジェクトのために設計された無数の機能と利点を備えた高度な微細加工エッチャー/アッシャーです。HITACHI DM 421Pは、ロケーションモデルと屈折率モデル、精密なエッチング/アッシュプロセスサイクル、安全機能を備え、数十年にわたる信頼性、均一性、高品質な結果を提供するように設計されています。