中古 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #122244 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEPイリディアは、エッチャー/アッシャーであり、高精度の誘電性および導電性パターニングのための特殊なエレクトロケミカル、ナノプリニングシステムです。複雑で高性能な半導体デバイス構造を開発するための完全統合ソリューションであり、さまざまなアプリケーションに適しています。GASONICS PEPイリディアは、統合された製品開発と製造に最適です。高度なプロセスモニタリングと複雑な精密制御を備えており、ウエハに損傷を与えることなく、最大40：1の高いアスペクト比の構造を実現できます。NOVELLUS PEP IRIDIAはまた、ウェーハ全体にわたって優れた均一性と特長エッジ品質を備え、16nmのサイズの構造物を製造する能力を持っています。GASONICS PEP IRIDIAのその他の機能は次のとおりです。高度なシステムオートメーションで生産性を向上させる高スループット幅広い材料を効率的に堆積およびエッチングする能力、 炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸化ケイ素などの誘電体および導電性材料を含むハイアスペクト比パターニング最大500 nmのパターン深度を持つ3Dエッチング構造を生成する機能プロセス制御を向上させるための完全自動化プロセスデータ収集のための高度な監視および分析機能全体的に、 NOVELLUS PEP IRIDIAは、超精密半導体デバイス製造のための非常に正確で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。その特徴は、非常に複雑で高性能なデバイス構造の製造において、優れた精度と一貫性を保証します。このツールは、デバイスの製造に最適な選択肢であり、信頼性、正確性、高機能な半導体製品を求めるあらゆるメーカーにとって貴重なツールとなります。