中古 GASONICS / NOVELLUS / GPT Gamma #9083208 を販売中

GASONICS/NOVELLUS/GPTガンマは、エレクトロニクスおよび半導体産業で一般的に使用される高度なエッチャーおよびアッシャーです。半導体ウェーハの表面に材料を洗浄、エッチング、堆積するように設計されています。それはウェーハから酸化物、ケイ酸塩および炭化水素を取除くのに高圧酸素プラズマを使用します。このエッチャー/アッシャーは、銀硫黄エッチング用の酸素反応ガス注入、および高選択性エッチング用の反応イオンエッチングも備えています。GPT Gammaは、直径8〜32インチの幅広い半導体ウェーハをエッチング、アッシャー、クリーニングできる完全自動マルチツール機器です。このシステムは、高価な「フリーヒール」ウェーハキャリアを含む多数のウェーハキャリアにも対応できます。GASONICS Gammaは、高度なプロセス監視およびフィードバック制御技術により、粒子生成を最小限に抑えるように設計されています。また、ウェーハの熱および機械的応力を低減するための可変プロセス時間遅延も備えています。チャンバーは、チャンバーを予熱して加圧できる強力なガス供給ユニットに接続されています。この機械は正確に制御されたレベルおよび温度で高速反応性ガスの制御された導入を可能にします。ガンマには最先端のウェーハハンドリングツールが装備されており、ウェーハに最適な機械的保護のための安全な分割レベルの設計が施されています。このアセットは、熱プリセレクション、ウェーハキャプチャ、ロード、アンロード、およびプリプロセスおよびポストプロセス解析など、高度な自動化を管理することもできます。さらに、NOVELLUS Gammaは、シリコン、窒化アルミニウム、石英など、さまざまなウェーハ材料と互換性があります。GASONICS/NOVELLUS/GPT Gammaは、優れた性能と信頼性を提供する、市場で最も先進的なシステムの1つです。このモデルは、歩留まりを最大化し、コストとサイクルタイムを削減し、全体的な需要履行を確実にするために設計されています。それは複数の標準によって証明され、顧客満足を保障するのを助けるために技術的なエンジニアの世界クラスのチームによって支えられます。