中古 DNS / DAINIPPON EPD 9825 #9382342 を販売中
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DNS/DAINIPPON EPD 9825は、日本のDNSスクリーンが開発したエッチャー/アッシャーの一種です。このデバイスは最先端のデザインで、ユーザーに信頼性と効率的なエッチングとアッシングのプロセスを提供するためのプレミアム素材で構成されています。本体は対称構造であり、加熱室には効率的な加熱を確保するために石英ランプが装備されています。製品の分解を最小限に抑えるように設計されており、ユーザーは安定した化学濃縮または枯渇効果を得ることができます。また、チルトモニタリングセンサーやファンなど、内部の熱を調節する安全機構を備えています。このデバイスには、上部チャンバーと下部チャンバーの2つのメインチャンバーがあります。上部のチャンバーは、反応容器とリアクタントがロードされる場所です。下部のチャンバーはエッチャー/アッシャーチャンバーで、エッチングまたはアッシング処理が行われます。その温度較差は室温から500°Cに拡張します。均一なガス配分のための統合された沈殿制御可能なシース、およびレーザービームのサイズ制御のための移動可能な虹彩のダイヤフラムおよびスリットがあります。このデバイスは、化学反応を容易にするために、マスフローコントローラ(MFC)と超化学吸収技術を内蔵しています。MFCは反応容器へのガスや材料の流れを調節し、超化学吸収技術は反応を加速するのに役立ちます。さらに、ユーザーはタッチスクリーンコントローラを介してアプリケーション要件に応じてプロセスパラメータをカスタマイズすることができます。さらに、クローズドループ・プロセス制御用の酸素分析装置とイオン化タイプのNOxモニタも備えています。酸素分析装置は、ユーザーが反応室の酸素レベルを監視するのに役立ちますが、NOxモニターは法的限界内で放出濃度を維持します。さらに、エッチャー/灰色プロセスに関連するすべてのデータは、簡単にアクセスできるように、デバイスのデータロガーに保存されます。全体的に、DNS EPD 9825は、効率的で信頼性の高いエッチング/アッシングプロセスをユーザーに提供する最先端のエッチャー/アッシャーです。データロギング、安全なメカニズム、高度なプロセス制御などの機能は、研究者や研究室にとって理想的な選択肢です。
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