中古 CORIAL 300 iL #9267214 を販売中

CORIAL 300 iLは、幅広いマイクロエレクトロニクス用途向けの高性能エッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、アルミニウム、タングステン、ポリイミド、銅、シリコンなどのさまざまな材料とエッチングを利用して、さまざまなフォトレジストエッチング要件を満たすように設計されています。300 iLを使用して、最大750mmの基板を処理できます。プロセス温度は200°C、推進剤は最大850 mbarです。エッチャーはまた精密な温度調整を特色にし、± 0。03°Cまで処理精度を可能にします。モジュラープロセスチャンバー設計により、信頼性の高い高品質な結果が保証され、積載比率が+/-0。9％、完全窒化物絶縁により優れた熱性能が得られ、エッチング品質が向上します。CORIAL 300 iLは頑丈な構造で、異なる基板やエッチングに同時に使用できる独立した加工領域用のラウンドロビン構成で、長期使用に適しています。エッチャーには、絶縁されたFPT切替可能なガスフィードパネルがあり、急速なガス交換を可能にし、ダウンタイムを最小限に抑えます。300 iLは、ユーザーフレンドリーなプロセスソフトウェアの完全なスイートが装備されており、試運転と専門家の操作を簡単かつ便利にします。プロセス制御ソフトウェアには、統合プロセスレシピ、効果的なサイクルタイム最適化、ユニバーサルパラメータマッピング、高度なフロー制御が含まれます。CORIAL 300 iLは、ハイエンドの産業および研究アプリケーションに適した優れたプロセス性能と信頼性を備えた高度なエッチャー/アッシャーです。シリコンウェーハやMEMS部品などの基板エッチングに高い柔軟性と機能性を提供します。