中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293637503 を販売中
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CANON/ANELVA ILD 4100SRは汎用性の高い産業用エッチャーまたはアッシャーであり、優れた結果を持つ基板またはウエハの大規模なバッチを処理することができます。ダイシング、ダイアタッチ、ICパッケージングアプリケーションに最適なCANON ILD-4100SRは、ダイレクトプラズマソース、特別なドライエッチング/ストリップ技術、ウェハ両面の同時エッチングを備えています。ANELVA ILD-4100 SRは、独自のILD (Ionized Line Direction)技術を使用して、優れたプロセス結果を保証します。この技術の主な利点は、ウェーハの表面全体にわたるエッチングの均一性です。また、ウェーハ表面とプラズマが相互作用することで発生するプラズマの不純物も除去します。ILD技術の精密で精密なエッチングは、手動で調整する必要なく、正確で再現性のある結果を生成するのにも役立ちます。ILD 4100SRは高性能産業用エッチャーで、一般的なすべての半導体で最大7µmの深さまでプロセスをエッチングして除去することができます。直径200mmまでの基板加工が可能で、0。25〜3。5mmのウエハに適しています。このシステムの統合されたマイクロエッチング(MIL)およびストリップ機能は、銅、金、アルミニウムなどの一般的なエッチング操作において優れた性能を提供します。CANON/ANELVA ILD-4100 SRは、コンピュータインターフェースや外部プロセスタイマーなど、多くのオートメーション機能を提供しています。これにより、高速で反復可能で正確なエッチング結果が得られます。このシステムは、自動温度と電力制御も備えており、正確で再現性のある温度制御を可能にします。ILD-4100 SRは、環境安全の業界基準に準拠しており、EU RoHS(有害物質の制限)規制に準拠するために欧州連合によって認定されています。このエッチャーは、真空コンパートメント、電気化学メッキ、厚膜リソグラフィ、スロットエッチングなど、あらゆるアクセサリーや化学薬品とも互換性があります。CANON ILD-4100 SRは、丸みを帯びた頑丈な産業用エッチャーで、高精度で安全性の高い基板またはウェーハを大量に取り扱うことができます。独自のILD技術により、均一なエッチング結果が保証され、統合されたオートメーション機能により、高速で正確かつ再現性の高い結果が得られます。ILD 4100 SRは、業界標準の認証と幅広い互換性のあるアクセサリーと化学薬品を備えており、大量の産業用エッチング用途に最適です。
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