中古 BAL-TEC RES010 #171772 を販売中

ID: 171772
Rapid etching system.
BAL-TEC RES-010は、中規模から大規模の基板加工用に設計された精密ベンチトップエッチング/アッシングシステムです。電気光学結晶やガラスのエッチング、薄膜エッチング化学、MEMS装置エッチング、半導体アッシング・ストリッピングなどのプロセスの研究開発に最適です。システムは5つの主要な部品から成っています;本体、電源、ベンチトップ、プロセスチャンバー、クーラントサプライ。本体はプロセスチャンバーを収容し、エッチングマスク用の光源を供給するための上下チャンバーで構成されています。電源とベンチトップには、エッチングパラメータを簡単に調整できるデジタルディスプレイが装備されています。プロセスチャンバーは、垂直および横方向のフローまたはメディアの入口と出口の両方を可能にするように設計されているため、プロセスは汎用性が高く効率的です。統合されたクーラント供給により、最適で安定したプロセス温度が保証されますが、完全に密閉された断熱材は、処理サイクル中にチャンバの温度を安定した状態に保ちます。これにより、基板は周囲の環境よりもはるかに高い温度で処理され、サブミクロンの特徴サイズを達成することができます。BAL-TEC RES-010には、プロセス固有のレシピの範囲があり、すばやく簡単に保存してリコールすることができ、各レシピを簡単にカスタマイズでき、プロセスを完全に制御できます。また、完全に自動化された水晶モニターを備えているため、エッチングの進行状況を追跡しながらエッチングを正しく進行させることができます。エッチャーにはターボ分子ポンプが取り付けられており、広いエッチング領域で最適な均一性が得られます。BAL-TEC RES-010は、優れたエッチング均一性と再現性を提供し、中規模から大規模プロセスに最適なツールです。これにより、半導体からマイクロエレクトロニクスデバイスまでの業界に適しており、毎回信頼性の高い結果を提供します。また、PEEK補強壁と優れた断熱材により安全性を保証し、偶発的な熱衝撃やひずみに対する最適な保護を実現します。
まだレビューはありません