中古 AXCELIS / FUSION MTL-202A #9083202 を販売中
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AXCELIS/FUSION MTL-202Aは、幅広い材料の基板加工パラメータを正確に制御できるように設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。この高性能エッチャー/アッシャーは、精密材料の修正、洗浄、プラズマエッチングなどの用途に最適なツールです。FUSION MTL-202Aは、大量生産と一貫した結果を得るために構築されています。MTL-201Aの高度なサブシステムは、一貫した効率的な材料処理を可能にするように設計されています。クランプシステムは8 「x8」までのサイズの基質を保持し、ユーザーに高い決定の程度を提供します。AXCELIS MTL-202Aの高真空環境は、クリーンで一貫したプロセスチャンバーを維持し、基板のプロセス歩留まりを改善します。一貫したプラズマエッチング性能を確保するために、MTL-202Aには高密度、短時間の電源が搭載されており、微細でターゲットを絞った処理が可能です。その高度なポンプとスロットルバルブユニットは、所望のプロセス結果を達成するためにプロセスガスを変調します。また、プロセス中に温度と圧力フィードバックを提供する高度なセンサマシンを備えています。一貫したエッチング条件を維持するために不可欠です。AXCELIS/FUSION MTL-202Aのソフトウェアは、詳細なプロセス制御を提供するように設計されています。ユーザーは圧力、力、およびガスの流れのような処理変数を、すばやくそして容易に置くことができます。これらの設定は保存され、毎回同一のエッチングプロセスの結果を保証するために再利用できます。ソフトウェアはまた、ユーザーが処理の実行を追跡し、現在および以前のプロセスパラメータを監視することができます。また、ソフトウェアは、エッチング基板の性能を評価するためのプロセス分析ツールを提供しています。要約すると、FUSION MTL-202Aは基板処理パラメータを正確に制御できるように設計された高度なエッチング/アッシャツールです。そのサブシステム、ソフトウェア、および全体的な設計は、一貫した結果で大量生産を促進し、あらゆるエッチング会社にとって不可欠です。
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